666610

Tetrakis(dimethylamido)hafnium(IV)

packaged for use in deposition systems

• Szinonimák: TDMAH, Tetrakis(dimethylamino)hafnium(IV)
• Lineáris képlet: [(CH₃)₂N]₄Hf
• CAS-szám: 19782-68-4
• Molekulatömeg: 354.79
• MDL-szám: MFCD01862473
• UNSPSC kód: 12352103
• PubChem Substance ID: 24884811
• NACRES: NA.23

Tulajdonságok

• Minőségi szint: 100
• Teszt: ≥99.99% (trace metals analysis)
• form: low-melting solid
• reakcióalkalmasság: core: hafnium
• mp: 26-29 °C (lit.)
• sűrűség: 1.098 g/mL at 25 °C
• SMILES string: CN(C)[Hf](N(C)C)(N(C)C)N(C)C
• InChI: 1S/4C2H6N.Hf/c4*1-3-2;/h4*1-2H3;/q4*-1;+4
• Nemzetközi kémiai azonosító kulcs: ZYLGGWPMIDHSEZ-UHFFFAOYSA-N

Leírás

Általános leírás

Alkyl amides of Hafnium provide a convenient and effective atomic layer deposition precursor to smooth and and amorphous hafnium oxide thin films.

Alkalmazás

Precursors Packaged for Depositions Systems

Used as precursor for atomic layer deposition of Hafnium Oxide nanolaminates, which are used as a reploacement for Silicon oxide in semiconductor devices.

Biztonsági adatok

• Piktogramok: GHS02,GHS05
• Figyelmeztetés: Danger
• Figyelmeztető mondatok: H228,H261,H314
• Óvintézkedésre vonatkozó mondatok: P210 - P231 + P232 - P280 - P305 + P351 + P338 - P370 + P378 - P402 + P404
• Veszélyességi osztályok: Flam. Sol. 1 - Skin Corr. 1B - Water-react 2
• Egyéb veszélyek: EUH014
• Tárolási osztály kódja: 4.3 - Hazardous materials which set free flammable gases upon contact with water
• WGK: WGK 3
• Lobbanási pont (F): 109.4 °F - closed cup
• Lobbanási pont (C): 43 °C - closed cup
• Egyéni védőeszköz: Eyeshields, Faceshields, Gloves, type P3 (EN 143) respirator cartridges