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Merck
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資料

安全性情報

463019

Sigma-Aldrich

四フッ化ケイ素

electronic grade, ≥99.99%

別名:

フッ化ケイ素(IV)

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About This Item

化学式:
SiF4
CAS番号:
7783-61-1
分子量:
104.08
EC Number:
232-015-5
MDL番号:
MFCD00040533
UNSPSCコード:
12352300
PubChem Substance ID:
24869885
NACRES:
NA.23

グレード

electronic grade

アッセイ

≥99.99%

形状

liquid

反応適合性

core: silicon

不純物

<0.5 ppm Carbon monoxide (CO)
<1 ppm Argon + oxygen (Ar + O2)
<1 ppm Carbon dioxide (CO2)
<10 ppm Methane (CH4)
<3 ppm Nitrogen (N2)
<50 ppm Hydrogen fluoride (HF)

bp

−86 °C (lit.)

mp

−90 °C (lit.)

転移温度

critical temperature −14.2 °C

密度

3.57 g/mL at 25 °C (lit.)

SMILES記法

F[Si](F)(F)F

InChI

1S/F4Si/c1-5(2,3)4

InChI Key

ABTOQLMXBSRXSM-UHFFFAOYSA-N

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アプリケーション

Silicon tetrafluoride is used in ion-implantation processes and as a precursor to fluorinated silica via plasma-assisted CVD. Mixtures of SiF4-SiH4-H2 have recently been used to deposit polycrystalline silicon thin films via remote plasma chemical vapor deposition (RPCVD). Such fluorinated thin films show visible photoluminescence (PL) at room temperature.

包装

Supplied in a carbon steel lecture bottle with a CGA180M/CGA110F needle valve installed.

Compatible with the following:
  • Aldrich® lecture-bottle station systems
  • Aldrich® lecture-bottle gas regulators

その他情報

See Technical Information Bulletin AL-151 Gas Regulators: Selection, Installation, and Operation

法的情報

Aldrich is a registered trademark of Sigma-Aldrich Co. LLC

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ピクトグラム

Gas cylinderSkull and crossbonesCorrosion
GHS04,GHS06,GHS05

シグナルワード

Danger

危険有害性情報

H280,H314,H330

危険有害性の分類

Acute Tox. 2 Inhalation - Eye Dam. 1 - Press. Gas Liquefied gas - Skin Corr. 1A

補足的ハザード

EUH014,EUH029

保管分類コード

2A - Gases

WGK

WGK 3

引火点(°F)

Not applicable

引火点(℃)

Not applicable

個人用保護具 (PPE)

Faceshields, Gloves, Goggles

適用法令

試験研究用途を考慮した関連法令を主に挙げております。化学物質以外については、一部の情報のみ提供しています。 製品を安全かつ合法的に使用することは、使用者の義務です。最新情報により修正される場合があります。WEBの反映には時間を要することがあるため、適宜SDSをご参照ください。

労働安全衛生法名称等を表示すべき危険物及び有害物

名称等を表示すべき危険物及び有害物

労働安全衛生法名称等を通知すべき危険物及び有害物

名称等を通知すべき危険物及び有害物

Jan Code

463019-20G:
463019-100G:
463019-BULK:
463019-VAR:
463019-100G-PW:

試験成績書（COA）

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