759562

Tris(dimethylamino)silane

packaged for use in deposition systems

• Synonim(y): Tris(dimethylamino)silane, (Me₂N)₃SiH, N,N,N′,N′,N′′, N′′-Hexamethylsilanetriamine, Tris(dimethylamido)silane, N,N,N′,N′,N′′,N′′-Hexamethylsilanetriamine, TDMAS
• Wzór liniowy: ((CH₃)₂N)₃SiH
• Numer CAS: 15112-89-7
• Masa cząsteczkowa: 161.32
• Numer WE: 239-165-0
• Numer MDL: MFCD00048006
• Kod UNSPSC: 12352103
• Identyfikator substancji w PubChem: 329766793
• NACRES: NA.23

Właściwości

• Poziom jakości: 100
• Próba: ≥99.9% (GC)
• Formularz: liquid
• bp: 142 °C (lit.)
• mp: −90 °C (lit.)
• gęstość: 0.838 g/mL at 25 °C (lit.)
• ciąg SMILES: CN(C)[SiH](N(C)C)N(C)C
• InChI: 1S/C6H19N3Si/c1-7(2)10(8(3)4)9(5)6/h10H,1-6H3
• Klucz InChI: TWVSWDVJBJKDAA-UHFFFAOYSA-N

Opis

Opis ogólny

Tris(dimetyloamino)silan to związek krzemoorganiczny o wysokiej lotności i stabilności termicznej, szeroko stosowany jako prekursor osadzania z fazy gazowej do wytwarzania cienkich warstw zawierających krzem do różnych zastosowań, w tym ogniw słonecznych, katalizatorów ogniw paliwowych i półprzewodników. Osadzanie można przeprowadzać w niskich temperaturach podłoża (<150). Temperatura topnienia i ciśnienie pary TDMAS znajdują się w odpowiednim zakresie roboczym, co czyni go bardzo dobrym prekursorem osadzania z fazy gazowej.

Zastosowanie

Można stosować tris(dimetyloamino)silan:

• Jako źródło krzemu do osadzania krzemianu glinu na anodach _TiO2 dla barwnikowych ogniw słonecznych vis metoda osadzania warstw atomowych.
• Jako prekursor do wytwarzania funkcjonalizowanych separatorów wzmocnionych Si do akumulatorów litowo-jonowych.

Ta strona może zawierać tekst przetłumaczony maszynowo.

Informacja o środkach bezpieczeństwa

• Piktogramy: GHS02,GHS06,GHS05
• Hasło ostrzegawcze: Danger
• Zwroty wskazujące rodzaj zagrożenia: H225,H261,H302,H311 + H331,H314
• Zwroty wskazujące środki ostrożności: P210 - P231 + P232 - P280 - P303 + P361 + P353 - P304 + P340 + P310 - P305 + P351 + P338
• Klasyfikacja zagrożeń: Acute Tox. 3 Dermal - Acute Tox. 3 Inhalation - Acute Tox. 4 Oral - Eye Dam. 1 - Flam. Liq. 2 - Skin Corr. 1B - Water-react 2
• Zagrożenia dodatkowe: EUH029
• Kod klasy składowania: 4.3 - Hazardous materials which set free flammable gases upon contact with water
• Klasa zagrożenia wodnego (WGK): WGK 3
• Temperatura zapłonu (°F): 16.0 - 32.0 °F - closed cup
• Temperatura zapłonu (°C): -8.89 - 0.00 °C - closed cup