コンテンツへスキップ
Merck
すべての画像(1)

主要文書

安全性情報

901621

Sigma-Aldrich

Buffered oxide etchant (BOE) 10:1

別名:

BHF, Buffered HF

ログイン組織・契約価格を表示する

サイズを選択してください

1 L
￥17,200

￥17,200

出荷可能日2025年4月23日詳細

バルクの問い合わせ
すべての画像(1)

サイズを選択してください

表示を変更する
1 L
￥17,200

About This Item

UNSPSCコード:
12161700
NACRES:
NA.23

￥17,200

出荷可能日2025年4月23日詳細

バルクの問い合わせ

フォーム

liquid

関連するカテゴリー

詳細

Buffered oxide etchant (BOE) is a wet etchant used in microfabrication. Its primary use is in etching thin films of silicon dioxide (SiO2) or silicon nitride (Si3N4). It is a mixture of a buffering agent, such as ammonium fluoride (NH4F), and hydrofluoric acid (HF). Concentrated HF etches silicon dioxide too quickly for good process control and also peels photoresist used in lithographic patterning.

アプリケーション

Buffered oxide etchant (BOE) 10:1 can be used in the etching of titanium carbide, which can be used in microelectromechanical systems (MEMS).[1] It can also be used in the etching of spin-on-dopant (SOD) for the development of conductor-insulator-conductor tunneling diodes.[2] It can also be used to enhance the surface of fused quartz devices.[3]

ピクトグラム

Skull and crossbonesCorrosion
GHS06,GHS05

シグナルワード

Danger

危険有害性情報

H301 + H331,H310,H314

危険有害性の分類

Acute Tox. 2 Dermal - Acute Tox. 3 Inhalation - Acute Tox. 3 Oral - Eye Dam. 1 - Skin Corr. 1B

保管分類コード

6.1B - Non-combustible acute toxic Cat. 1 and 2 / very toxic hazardous materials

WGK

WGK 2

引火点(°F)

Not applicable

引火点(℃)

Not applicable

適用法令

試験研究用途を考慮した関連法令を主に挙げております。化学物質以外については、一部の情報のみ提供しています。 製品を安全かつ合法的に使用することは、使用者の義務です。最新情報により修正される場合があります。WEBの反映には時間を要することがあるため、適宜SDSをご参照ください。

毒物及び劇物取締法

劇物
毒物

PRTR

第一種指定化学物質

労働安全衛生法名称等を表示すべき危険物及び有害物

名称等を表示すべき危険物及び有害物

労働安全衛生法名称等を通知すべき危険物及び有害物

名称等を通知すべき危険物及び有害物

Jan Code

901621-1L:4548173350592
901621-BULK:
901621-VAR:

最新バージョンのいずれかを選択してください：

試験成績書（COA）

Lot/Batch Number
MKCV9352
MKCW6926
MKCT6710
MKCS8940
MKCQ4119

適切なバージョンが見つかりませんか。

特定のバージョンが必要な場合は、ロット番号またはバッチ番号で特定の証明書を検索できます。

COAを検索

以前この製品を購入いただいたことがある場合

文書ライブラリで、最近購入した製品の文書を検索できます。

文書ライブラリにアクセスする

この製品を見ている人はこちらもチェック

Slide 1 of 4

1 of 4

フッ化水素酸 48 wt. % in H2O, ≥99.99% trace metals basis

Sigma-Aldrich

339261

フッ化水素酸

Nichrome etchant standard

Sigma-Aldrich

651834

Nichrome etchant

Gold etchant, nickel compatible

Sigma-Aldrich

651842

Gold etchant, nickel compatible

銅エッチング液

Sigma-Aldrich

667528

銅エッチング液

Study on surface roughness improvement of Fused Quartz after thermal and chemical post-processing
2016 IEEE International Symposium on Inertial Sensors and Systems, 31(8), 101-104 (2016)
New process development for planar-type CIC tunneling diodes
Choi K, et al.
IEEE Electron Device Letters, 31(8), 809-811 (2010)
Integration of wear-resistant titanium carbide coatings into MEMS fabrication processes
Radhakrishnan G, et al.
Tribology Letters, 8(2-3), 133-137 (2000)

質問

1–3/3 質問  

  1. How is shipping temperature determined? And how is it related to the product storage temperature?

    1 回答

    1. Products may be shipped at a different temperature than the recommended long-term storage temperature. If the product quality is sensitive to short-term exposure to conditions other than the recommended long-term storage, it will be shipped on wet or dry-ice. If the product quality is NOT affected by short-term exposure to conditions other than the recommended long-term storage, it will be shipped at ambient temperature. As shipping routes are configured for minimum transit times, shipping at ambient temperature helps control shipping costs for our customers. For more information, please refer to the Storage and Transport Conditions document: https://www.sigmaaldrich.com/deepweb/assets/sigmaaldrich/marketing/global/documents/316/622/storage-transport-conditions-mk.pdf

      役に立ちましたか？

  2. How can I determine the shelf life / expiration / retest date of this product?

    1 回答

    1. If this product has an expiration or retest date, it will be shown on the Certificate of Analysis (COA, CofA). If there is no retest or expiration date listed on the product's COA, we do not have suitable stability data to determine a shelf life. For these products, the only date on the COA will be the release date; a retest, expiration, or use-by-date will not be displayed.
      For all products, we recommend handling per defined conditions as printed in our product literature and website product descriptions. We recommend that products should be routinely inspected by customers to ensure they perform as expected.
      For products without retest or expiration dates, our standard warranty of 1 year from the date of shipment is applicable.
      For more information, please refer to the Product Dating Information document: https://www.sigmaaldrich.com/deepweb/assets/sigmaaldrich/marketing/global/documents/449/386/product-dating-information-mk.pdf

      役に立ちましたか？

  3. I’m considering using nitrogen pressure to dispense Buffered Oxide Etch from your containers. The pressure I plan to use is approximately 2 ATM (1 ATM above atmospheric pressure). Can you confirm if the bottles are rated to safely handle this pressure?

    1 回答

    1. The empty bottle is tested to withstand at least 36 psi, but it is not tested once the bottle contains the product. It is not typical to pressure-transfer from one of these HDPE bottles. The product should be transferred into a secondary container from which it is suitable for pressure transfer.

      役に立ちましたか？

レビュー

評価値なし

アクティブなフィルタ

ライフサイエンス、有機合成、材料科学、クロマトグラフィー、分析など、あらゆる分野の研究に経験のあるメンバーがおります。.

製品に関するお問い合わせはこちら（テクニカルサービス）