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Merck

651826

Sigma-Aldrich

クロムエッチング液

standard

別名:

Cr エッチング液

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500 ML
¥12,600

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出荷可能日2025年4月21日詳細


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About This Item

MDL番号:
UNSPSCコード:
12352300
NACRES:
NA.23

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グレード

standard

品質水準

組成

volatiles, 85%

orange

bp

100 °C/1 atm

密度

1.16 g/mL at 25 °C

詳細

  • 外観 - 澄明な橙色
  • pH - 酸性
  • 40 °Cでのエッチング速度 - 40 Å/秒
  • エッチング量(速度は約70%で低下)- 65 g/ガロン
  • 有効期間 - 1年
  • 保存条件 - 室温
  • ろ過 - 0.2 µm
  • 推奨操作温度 - 20~80°C(一般的には30~40°C)
  • 水洗 - 脱イオン水
  • フォトレジストの推奨品 - KLT6000 シリーズ、KLT 5300シリーズ、HARE SQT(SU-8型), TRANSIST、PKP -308PI
  • 適合材料 - Au、Ti、酸化物、窒化物、Si
  • 不適合材料 - Al、Ni、Cu、NiCr
  • 適合プラスチック- HDPE、PP、PTFE、PFA、PVC
  • 等方性 - 等方性
  • 不適合化学物質 - 強塩基
クロムエッチング剤は、基質から過剰な金属を除去するクロム系溶液です。クロムエッチング液剤は、金属仕上げや電子工業で多用されています。エッチング速度は4mm/sで、ニッケル、銅、クロム系の過剰金属のエッチングに使用できます。[1][2][3][4]
メルクのクロムエッチング液は、高純度硝酸セリウムアンモニウム系であり、クロムおよび酸化クロム膜の精密でクリーンなエッチングが可能です。ネガ型とポジ型の両方のフォトレジストに適合します。私たちのクロムエッチング液は、ろ過済みで、0.2ミクロンを超えるすべての微粒子が除去されています。 エッチング温度は膜厚により変化します。エッチング時間は室温で15~60秒です。クロムエッチング液は、換気の良いフード内で操作する必要があります。
硝酸アンモニウムセリウム系エッチング液 エッチング速度40 Å/sec (室温) 清浄にエッチングし、必要なのは脱イオン水によるリンスのみです。

アプリケーション

室温又は高温での使用向けです。 清浄にエッチングし、途中でリンスをする必要がありません。 エッチング温度は膜の厚さによって異なります。 エッチング時間は室温で15~60秒です。 注:クロムエッチング液は十分に換気されるフード内で扱ってください。
本製品でAl、Cr、Cu、Ni、GaAsのエッチングができます。Si、Ta/TaNの表面酸化ができますが、Au、Si3N4、SiO2、Ti、Wの表面への影響はありません。[5]

特徴および利点

クロム及び酸化クロム膜を正確で清浄なエッチングができるようにデザインされています。 ネガ型とポジ型の両方のフォトレジストに適合します。 粒子除去のため0.2ミクロンフィルターで濾過済み。

ピクトグラム

Flame over circleCorrosionExclamation markEnvironment

シグナルワード

Danger

危険有害性情報

危険有害性の分類

Aquatic Chronic 2 - Eye Dam. 1 - Met. Corr. 1 - Ox. Liq. 2 - Skin Corr. 1B - Skin Sens. 1

補足的ハザード

保管分類コード

5.1B - Oxidizing hazardous materials

WGK

WGK 3

引火点(°F)

Not applicable

引火点(℃)

Not applicable


適用法令

試験研究用途を考慮した関連法令を主に挙げております。化学物質以外については、一部の情報のみ提供しています。 製品を安全かつ合法的に使用することは、使用者の義務です。最新情報により修正される場合があります。WEBの反映には時間を要することがあるため、適宜SDSをご参照ください。

PRTR

第一種指定化学物質

消防法

第6類:酸化性液体
硝酸
危険等級I

労働安全衛生法名称等を表示すべき危険物及び有害物

名称等を表示すべき危険物及び有害物

労働安全衛生法名称等を通知すべき危険物及び有害物

名称等を通知すべき危険物及び有害物

Jan Code

651826-VAR:
651826-BULK:
651826-500ML:4548173959603


最新バージョンのいずれかを選択してください:

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プロトコル

本フォトレジストキットには、リソグラフィープロセスにおける各ステップで必要な材料が含まれています。各材料は、すぐにお使いいただけるようにあらかじめ計量されており、エッチング液については、様々な基板に適切なものをお選びいただけるように、個別に販売しています。

Photoresist kit offers pre-weighed chemical components for lithographic processes, with separate etchants for various substrate choices.

質問

1–3/3 質問  
  1. How can I determine the shelf life / expiration / retest date of this product?

    1 回答
    1. If this product has an expiration or retest date, it will be shown on the Certificate of Analysis (COA, CofA). If there is no retest or expiration date listed on the product's COA, we do not have suitable stability data to determine a shelf life. For these products, the only date on the COA will be the release date; a retest, expiration, or use-by-date will not be displayed.
      For all products, we recommend handling per defined conditions as printed in our product literature and website product descriptions. We recommend that products should be routinely inspected by customers to ensure they perform as expected.
      For products without retest or expiration dates, our standard warranty of 1 year from the date of shipment is applicable.
      For more information, please refer to the Product Dating Information document: https://www.sigmaaldrich.com/deepweb/assets/sigmaaldrich/marketing/global/documents/449/386/product-dating-information-mk.pdf

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  2. How is shipping temperature determined? And how is it related to the product storage temperature?

    1 回答
    1. Products may be shipped at a different temperature than the recommended long-term storage temperature. If the product quality is sensitive to short-term exposure to conditions other than the recommended long-term storage, it will be shipped on wet or dry-ice. If the product quality is NOT affected by short-term exposure to conditions other than the recommended long-term storage, it will be shipped at ambient temperature. As shipping routes are configured for minimum transit times, shipping at ambient temperature helps control shipping costs for our customers. For more information, please refer to the Storage and Transport Conditions document: https://www.sigmaaldrich.com/deepweb/assets/sigmaaldrich/marketing/global/documents/316/622/storage-transport-conditions-mk.pdf

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  3. Does this product etch Ti and TiO2? If so, what is the etch rate?

    1 回答
    1. The chromium etchant, product 651826, is compatible with titanium, meaning it does not etch titanium. While there is no specific information on TiO2, it is assumed that the same is true. The etch rate at 40°C is 40 Å/sec, and the rate will approximately double with every 10°C increase in temperature. Additionally, the rate of stirring or agitation will also increase the etch rate.

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