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Sigma-Aldrich

Silicon tetrafluoride

electronic grade, ≥99.99%

Sinônimo(s):

Silicon(IV) fluoride

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About This Item

Fórmula linear:
SiF4
Número CAS:
7783-61-1
Peso molecular:
104.08
Número CE:
232-015-5
Número MDL:
MFCD00040533
Código UNSPSC:
12352300
ID de substância PubChem:
24869885
NACRES:
NA.23

grau

electronic grade

Ensaio

≥99.99%

forma

liquid

adequação da reação

core: silicon

Impurezas

<0.5 ppm Carbon monoxide (CO)
<1 ppm Argon + oxygen (Ar + O2)
<1 ppm Carbon dioxide (CO2)
<10 ppm Methane (CH4)
<3 ppm Nitrogen (N2)
<50 ppm Hydrogen fluoride (HF)

pb

−86 °C (lit.)

pf

−90 °C (lit.)

temperatura de transição

critical temperature −14.2 °C

densidade

3.57 g/mL at 25 °C (lit.)

cadeia de caracteres SMILES

F[Si](F)(F)F

InChI

1S/F4Si/c1-5(2,3)4

chave InChI

ABTOQLMXBSRXSM-UHFFFAOYSA-N

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Aplicação

Silicon tetrafluoride is used in ion-implantation processes and as a precursor to fluorinated silica via plasma-assisted CVD. Mixtures of SiF4-SiH4-H2 have recently been used to deposit polycrystalline silicon thin films via remote plasma chemical vapor deposition (RPCVD). Such fluorinated thin films show visible photoluminescence (PL) at room temperature.

Embalagem

Supplied in a carbon steel lecture bottle with a CGA180M/CGA110F needle valve installed.

Compatible with the following:
  • Aldrich® lecture-bottle station systems
  • Aldrich® lecture-bottle gas regulators

Outras notas

See Technical Information Bulletin AL-151 Gas Regulators: Selection, Installation, and Operation

Informações legais

Aldrich is a registered trademark of Sigma-Aldrich Co. LLC

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Palavra indicadora

Danger

Frases de perigo

H280,H314,H330

Classificações de perigo

Acute Tox. 2 Inhalation - Eye Dam. 1 - Press. Gas Liquefied gas - Skin Corr. 1A

Perigos de suplementos

EUH014,EUH029

Código de classe de armazenamento

2A - Gases

Classe de risco de água (WGK)

WGK 3

Ponto de fulgor (°F)

Not applicable

Ponto de fulgor (°C)

Not applicable

Equipamento de proteção individual

Faceshields, Gloves, Goggles

Certificados de análise (COA)

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Kathryn George et al.
Dalton transactions (Cambridge, England : 2003), 40(7), 1584-1593 (2011-01-18)
The hypervalent adducts of SiF(4), trans-[SiF(4)(R(3)PO)(2)] (R = Me, Et or Ph), cis-[SiF(4){R(2)P(O)CH(2)P(O)R(2)}] (R = Me or Ph), cis-[SiF(4)(pyNO)(2)] and trans-[SiF(4)(DMSO)(2)] have been prepared from SiF(4) and the ligands in anhydrous CH(2)Cl(2), and characterised by microanalysis, IR and VT multinuclear
[Experimental study of toxic properties of silicon tetrafluoride].
G I Rumiantsev et al.
Gigiena i sanitariia, (5)(5), 31-33 (1991-05-01)
Diffusion and Defect Data, Solid State Data, Part B, 51-52, 149-149 (1996)
Journal of the Electrochemical Society, 143, 2640-2640 (1996)
Cicala, G.
Journal of Applied Physiology, 80, 6564-6564 (1996)
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