333891

Silane

≥99.998%, electronic grade

• Synonim(y): Silicon tetrahydride
• Wzór liniowy: SiH₄
• Numer CAS: 7803-62-5
• Masa cząsteczkowa: 32.12
• Numer WE: 232-263-4
• Numer MDL: MFCD00011228
• Kod UNSPSC: 12352300
• Identyfikator substancji w PubChem: 24860199

Właściwości

• klasa czystości: electronic grade
• gęstość pary: 1.1 (vs air)
• Próba: ≥99.998%
• Formularz: gas
• rezystywność: >1000 Ω-cm
• zanieczyszczenia: <1 ppm Carbon dioxide (CO₂); <1 ppm Carbon monoxide (CO); <1 ppm Chlorosilanes; <1 ppm THC; <1 ppm Trisilane (Si₃H₈); <1 ppm Water (H₂O); <100 ppm Hydrogen (H₂); <2 ppm Nitrogen (N₂); <2 ppm Siloxanes; <5 ppm Disilane (Si₂H₆)
• bp: −112 °C (lit.)
• mp: −185 °C (lit.)
• temp. przejścia: critical temperature −3.4 °C
• gęstość: 1.114 g/mL at 25 °C (lit.)
• ciąg SMILES: [SiH4]

Opis

Zastosowanie

Silane is used in the deposition of amorphous silicon, epitaxial silicon and silicon based dielectrics. Polycrystalline films can be deposited on silicon wafers and glass substrates via remote plasma chemical vapor deposition (RPCVD) using a SiH₄-SiF₂-H₂ gas mixture. Silane is used widely as a dopant in the formation of III-IV semiconductor materials.

Polecane produkty

Stainless steel regulators Z527416 or Z527424 are recommended.

Ta strona może zawierać tekst przetłumaczony maszynowo.

Informacja o środkach bezpieczeństwa

• Piktogramy: GHS02,GHS04
• Hasło ostrzegawcze: Danger
• Zwroty wskazujące rodzaj zagrożenia: H220,H280
• Zwroty wskazujące środki ostrożności: P210 - P377 - P381 - P410 + P403
• Klasyfikacja zagrożeń: Flam. Gas 1A - Press. Gas Compr. Gas
• Kod klasy składowania: 2A - Gases
• Klasa zagrożenia wodnego (WGK): WGK 1
• Temperatura zapłonu (°F): Not applicable
• Temperatura zapłonu (°C): Not applicable
• Środki ochrony indywidualnej: Eyeshields, Faceshields, Gloves, multi-purpose combination respirator cartridge (US)