667501
Tantalum nitride etchant
Synonim(y):
Tantalum nitride etch
Zaloguj sięWyświetlanie cen organizacyjnych i kontraktowych
About This Item
Polecane produkty
Opis ogólny
Wytrawiacz azotku tantalu to wysokiej czystości system wytrawiający do precyzyjnego, czystego wytrawiania cienkich warstw i oporników z tantalu, azotku tantalu i tlenku tantalu w zastosowaniach elektronicznych.
Zastosowanie
Etchant solution for precise, clean etching of tantalum, tantalum nitride, and tantalum oxide thin films and resists in electronics applications
Cechy i korzyści
Etch rate 70-80 Å / sec @ 25 C. Use with gold positive or negative photoresist. Rinse with Deionized water.
Uwaga dotycząca przygotowania
- Czasy wytrawiania różnią się w zależności od rodzaju materiału (Ta, TaN lub Ta2O5) i czystości.
- Rozcieńczyć wodą lub obniżyć temperaturę, aby uzyskać niższą szybkość wytrawiania. Dodanie 1 części wody do 2 części wytrawiacza lub obniżenie temperatury o 10°C zmniejszy szybkość wytrawiania o około 50%.
- Części, które mają być wytrawione, powinny być umieszczone w roztworze wytrawiacza z łagodnym lub umiarkowanym mieszaniem mechanicznym.
- Wytrawiacze tantalowe zawierają kwas fluorowodorowy i będą atakować tlenki krzemu, tytanu, niklu, aluminium i chromu.
- Złoto byłoby idealnym wytrawiaczem. Może się to również udać w przypadku wolframu
- Przepłukać wodą dejonizowaną.
Ta strona może zawierać tekst przetłumaczony maszynowo.
Hasło ostrzegawcze
Danger
Zwroty wskazujące rodzaj zagrożenia
Zwroty wskazujące środki ostrożności
Klasyfikacja zagrożeń
Acute Tox. 1 Dermal - Acute Tox. 2 Oral - Acute Tox. 3 Inhalation - Eye Dam. 1 - Met. Corr. 1 - Skin Corr. 1A
Zagrożenia dodatkowe
Kod klasy składowania
6.1B - Non-combustible acute toxic Cat. 1 and 2 / very toxic hazardous materials
Klasa zagrożenia wodnego (WGK)
WGK 2
Temperatura zapłonu (°F)
Not applicable
Temperatura zapłonu (°C)
Not applicable
Środki ochrony indywidualnej
Faceshields, Gloves, Goggles, type ABEK (EN14387) respirator filter
Wybierz jedną z najnowszych wersji:
Masz już ten produkt?
Dokumenty związane z niedawno zakupionymi produktami zostały zamieszczone w Bibliotece dokumentów.
Active Filters
Nasz zespół naukowców ma doświadczenie we wszystkich obszarach badań, w tym w naukach przyrodniczych, materiałoznawstwie, syntezie chemicznej, chromatografii, analityce i wielu innych dziedzinach.
Skontaktuj się z zespołem ds. pomocy technicznej
