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Tetrakis(trimethylsilyloxy)silane

Name: Tetrakis(trimethylsilyloxy)silane
Brand: ALDRICH
Price: 8730 JPY

97%

別名:

1,1,1,5,5,5-Hexamethyl-3,3-bis[(trimethylsilyl)oxy]trisiloxane, Tetrakis(trimethylsilyl) silicate

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About This Item

化学式:

[(CH₃)₃SiO]₄Si

CAS番号:

3555-47-3

分子量:

384.84

EC Number:

222-613-4

MDL番号:

MFCD00051587

UNSPSCコード:

12352103

PubChem Substance ID:

24868927

NACRES:

NA.22

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品質水準

100

アッセイ

97%

屈折率

n20/D 1.389 (lit.)

bp

103-106 °C/2 mmHg (lit.)

密度

0.87 g/mL at 25 °C (lit.)

SMILES記法

C[Si](C)(C)O[Si](O[Si](C)(C)C)(O[Si](C)(C)C)O[Si](C)(C)C

InChI

1S/C12H36O4Si5/c1-17(2,3)13-21(14-18(4,5)6,15-19(7,8)9)16-20(10,11)12/h1-12H3

InChI Key

VNRWTCZXQWOWIG-UHFFFAOYSA-N

アプリケーション

Tetrakis(trimethylsilyloxy)silane (TTMS) is an organosilicon compound used as a precursor to prepare nanostructured organosilicon polymer films by plasma-enhanced chemical vapor deposition (PECVD) at atmospheric pressure.[1] TTMS along with cyclohexane can also be used to synthesize low dielectric constant SiCOH films by PECVD method.[2]

ピクトグラム

GHS07

シグナルワード

Warning

危険有害性情報

H315,H319,H335

注意書き

P261 - P264 - P271 - P280 - P302 + P352 - P305 + P351 + P338

危険有害性の分類

Eye Irrit. 2 - Skin Irrit. 2 - STOT SE 3

ターゲットの組織

Respiratory system

保管分類コード

10 - Combustible liquids

WGK

WGK 3

引火点(°F)

168.8 °F - closed cup

引火点(℃)

76 °C - closed cup

個人用保護具 (PPE)

Eyeshields, Gloves, type ABEK (EN14387) respirator filter

適用法令

試験研究用途を考慮した関連法令を主に挙げております。化学物質以外については、一部の情報のみ提供しています。製品を安全かつ合法的に使用することは、使用者の義務です。最新情報により修正される場合があります。WEBの反映には時間を要することがあるため、適宜SDSをご参照ください。

消防法

第4類:引火性液体
第三石油類
危険等級III
非水溶性液体

Jan Code

454516-VAR:
454516-BULK:
454516-25ML:
454516-5ML:

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質問

匿名

11ヶ月前

What precursors can be suggested for compatibility with our PECVD system in order to deposit thin films of TiO2?

1 回答
1. Technical Support
  
  11ヶ月前
  
  Typically, a volatile Ti compound such as Titanium(IV) isopropoxide (TTIP), TiCl4, Titanium alkoxides, Ti(acac)4, etc., can be used as the precursor for depositing thin films of TiO2 using a PECVD system. It's important to note that different precursors have different boiling points and may result in different surface structures and morphologies.
  
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