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四(二甲胺基)锆(IV)

electronic grade, ≥99.99% trace metals basis

• 别名: TDMAZ, 四(二甲氨基)锆(IV)
• 线性分子式: [(CH₃)₂N]₄Zr
• CAS号: 19756-04-8
• 分子量: 267.53
• MDL號碼: MFCD00239502
• 分類程式碼代碼: 12352103
• PubChem物質ID: 24880977
• NACRES: NA.23

属性

• 等級: electronic grade
• 化驗: ≥99.99% trace metals basis
• 形狀: solid
• 反應適用性: core: zirconium
• mp: 57-60 °C (lit.)
• 儲存溫度: 2-8°C
• SMILES 字串: CN(C)[Zr](N(C)C)(N(C)C)N(C)C
• InChI: 1S/4C2H6N.Zr/c4*1-3-2;/h4*1-2H3;/q4*-1;+4
• InChI 密鑰: DWCMDRNGBIZOQL-UHFFFAOYSA-N

说明

應用

四（二甲基氨基）锆 (IV)可用作锆原子层沉积的前驱物，其应用范围从气体传感器到微电子学中的高k电介质。

安全信息

• 象形圖: GHS02,GHS07
• 訊號詞: Danger
• 危險聲明: H228,H261,H315,H319,H335
• 防範說明: P210 - P223 - P231 + P232 - P240 - P302 + P352 - P305 + P351 + P338
• 危險分類: Eye Irrit. 2 - Flam. Sol. 1 - Skin Irrit. 2 - STOT SE 3 - Water-react 2
• 標靶器官: Respiratory system
• 安全危害: EUH014
• 儲存類別代碼: 4.3 - Hazardous materials which set free flammable gases upon contact with water
• 水污染物質分類（WGK）: WGK 3
• 閃點（°F）: No data available
• 閃點（°C）: No data available
• 個人防護裝備: Eyeshields, Gloves, type P3 (EN 143) respirator cartridges