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Merck

901621

Sigma-Aldrich

Buffered oxide etchant (BOE) 10:1

Synonym(e):

BHF, Buffered HF

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About This Item

UNSPSC-Code:
12161700
NACRES:
NA.23

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Allgemeine Beschreibung

Buffered oxide etchant (BOE) is a wet etchant used in microfabrication. Its primary use is in etching thin films of silicon dioxide (SiO2) or silicon nitride (Si3N4). It is a mixture of a buffering agent, such as ammonium fluoride (NH4F), and hydrofluoric acid (HF). Concentrated HF etches silicon dioxide too quickly for good process control and also peels photoresist used in lithographic patterning.

Anwendung

Buffered oxide etchant (BOE) 10:1 can be used in the etching of titanium carbide, which can be used in microelectromechanical systems (MEMS).[1] It can also be used in the etching of spin-on-dopant (SOD) for the development of conductor-insulator-conductor tunneling diodes.[2] It can also be used to enhance the surface of fused quartz devices.[3]

Piktogramme

Skull and crossbonesCorrosion

Signalwort

Danger

Gefahreneinstufungen

Acute Tox. 2 Dermal - Acute Tox. 3 Inhalation - Acute Tox. 3 Oral - Eye Dam. 1 - Skin Corr. 1B

Lagerklassenschlüssel

6.1B - Non-combustible acute toxic Cat. 1 and 2 / very toxic hazardous materials

WGK

WGK 2

Flammpunkt (°F)

Not applicable

Flammpunkt (°C)

Not applicable


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Study on surface roughness improvement of Fused Quartz after thermal and chemical post-processing
2016 IEEE International Symposium on Inertial Sensors and Systems, 31(8), 101-104 (2016)
New process development for planar-type CIC tunneling diodes
Choi K, et al.
IEEE Electron Device Letters, 31(8), 809-811 (2010)
Integration of wear-resistant titanium carbide coatings into MEMS fabrication processes
Radhakrishnan G, et al.
Tribology Letters, 8(2-3), 133-137 (2000)

Questions

  1. I’m considering using nitrogen pressure to dispense Buffered Oxide Etch from your containers. The pressure I plan to use is approximately 2 ATM (1 ATM above atmospheric pressure). Can you confirm if the bottles are rated to safely handle this pressure?

    1 answer
    1. The empty bottle is tested to withstand at least 36 psi, but it is not tested once the bottle contains the product. It is not typical to pressure-transfer from one of these HDPE bottles. The product should be transferred into a secondary container from which it is suitable for pressure transfer.

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