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Tantalum(V) ethoxide

packaged for use in deposition systems

Sinônimo(s):

PET, Pentaethoxytantalum, Pentaethyl tantalate, Tantalum pentaethoxide

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About This Item

Fórmula linear:
Ta(OC2H5)5
Número CAS:
Peso molecular:
406.25
Beilstein:
3678999
Número CE:
Número MDL:
Código UNSPSC:
12352103
ID de substância PubChem:
NACRES:
NA.23

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Formulário

liquid

índice de refração

n20/D 1.487 (lit.)

p.e.

155 °C/0.01 mmHg (lit.)

pf

21 °C (lit.)

densidade

1.566 g/mL at 25 °C (lit.)

cadeia de caracteres SMILES

CCO[Ta](OCC)(OCC)(OCC)OCC

InChI

1S/5C2H5O.Ta/c5*1-2-3;/h5*2H2,1H3;/q5*-1;+5

chave InChI

HSXKFDGTKKAEHL-UHFFFAOYSA-N

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Aplicação

Tantalum(V) ethoxide precursor is used to deposit ultra thin films of Tantalum oxide and other tantalum containing films by atomic layer deposition and chemical vapor deposition methods

Pictogramas

Flame

Palavra indicadora

Warning

Frases de perigo

Declarações de precaução

Classificações de perigo

Flam. Liq. 3

Código de classe de armazenamento

3 - Flammable liquids

Classe de risco de água (WGK)

WGK 1

Ponto de fulgor (°F)

84.2 °F - closed cup

Ponto de fulgor (°C)

29 °C - closed cup


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