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Tetrakis(ethylmethylamido)titan(IV)

electronic grade, ≥99.99%

• Synonym(e): Tetrakis-(ethylmethylamino)-titan(IV)
• Lineare Formel: [(CH₃C₂H₅)N]₄Ti
• CAS-Nummer: 308103-54-0
• Molekulargewicht: 280.28
• MDL-Nummer: MFCD00799591
• UNSPSC-Code: 12352300
• PubChem Substanz-ID: 24870915
• NACRES: NA.23

Eigenschaften

• Qualität: electronic grade
• Assay: ≥99.99%
• Form: liquid
• Eignung der Reaktion: core: titanium
• bp: 80 °C/0.1 mmHg (lit.)
• Dichte: 0.923 g/mL at 25 °C (lit.)
• Lagertemp.: 2-8°C
• SMILES String: CCN(C)[Ti](N(C)CC)(N(C)CC)N(C)CC
• InChI: 1S/4C3H8N.Ti/c4*1-3-4-2;/h4*3H2,1-2H3;/q4*-1;+4
• InChIKey: LNKYFCABELSPAN-UHFFFAOYSA-N

Beschreibung

Allgemeine Beschreibung

Atomic number of base material: 22 Titanium

Anwendung

Precursor to titanium nitride (TiN) thin films by organometallic chemical vapor deposition (OMCVD).[1]

Sonstige Hinweise

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Sicherheitshinweise

• Piktogramme: GHS02,GHS05
• Signalwort: Danger
• H-Sätze: H225,H260,H314
• P-Sätze: P210 - P223 - P231 + P232 - P280 - P303 + P361 + P353 - P305 + P351 + P338
• Gefahreneinstufungen: Flam. Liq. 2 - Skin Corr. 1B - Water-react 1
• Zusätzliche Gefahrenhinweise: EUH014
• Lagerklassenschlüssel: 4.3 - Hazardous materials which set free flammable gases upon contact with water
• WGK: WGK 3
• Flammpunkt (°F): 35.6 °F - closed cup
• Flammpunkt (°C): 2 °C - closed cup
• Persönliche Schutzausrüstung: Faceshields, Gloves, Goggles, type ABEK (EN14387) respirator filter