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901623

Sigma-Aldrich

含有表面活性剂的缓冲氧化物蚀刻剂（BOE）6：1

同義詞:

BHF, 缓冲HF

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About This Item

分類程式碼代碼:
12161700
NACRES:
NA.23
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一般說明

缓冲氧化物蚀刻剂（BOE）是一种用于微细加工的湿蚀刻剂。它的主要用途是蚀刻二氧化硅（SiO2）或氮化硅（Si3N4）薄膜。它是一种缓冲剂的混合物，例如氟化铵（NH4F）和氢氟酸（HF）。浓缩HF对二氧化硅的蚀刻速度太快，无法实现良好的工艺控制，并且还会剥离用于光刻图案化的光刻胶。

應用

含表面活性剂的缓冲氧化物蚀刻剂（BOE）6：1可用于去除基于AlGaN/GaN 高电子迁移率晶体管的氧化物，用于栅极光刻。[1][2]也可用于缓冲氧化物蚀刻剂方法，制造微生物芯片。[3]

象形圖

Skull and crossbonesCorrosion
GHS06,GHS05

訊號詞

Danger

危險分類

Acute Tox. 1 Dermal - Acute Tox. 2 Inhalation - Acute Tox. 2 Oral - Eye Dam. 1 - Skin Corr. 1A

儲存類別代碼

6.1B - Non-combustible acute toxic Cat. 1 and 2 / very toxic hazardous materials

水污染物質分類（WGK）

WGK 2

閃點（°F）

Not applicable

閃點（°C）

Not applicable

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分析證明 (COA)

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2000 IEEE international symposium on compound semiconductors, 357-363 (2000)
Surface cleaning and preparation in AlGaN/GaN-based HEMT processing as assessed by X-ray photoelectron spectroscopy
Gonzalez-Posada F, et al.
Applied Surface Science, 253(14), 6185-6190 (2007)
Fabrication of a new micro bio chip and flow cell cytometry system using Bio-MEMS technology
Byun I, et al.
Microelectronics Journal, 39(5), 717-722 (2008)

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