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四(乙基甲基胺基)钛(IV)

electronic grade, ≥99.99%

• 同義詞: 四(乙基甲基氨基)钛(IV)
• 線性公式: [(CH₃C₂H₅)N]₄Ti
• CAS號碼: 308103-54-0
• 分子量：: 280.28
• MDL號碼: MFCD00799591
• 分類程式碼代碼: 12352300
• PubChem物質ID: 24870915
• NACRES: NA.23

屬性

• 等級: electronic grade
• 化驗: ≥99.99%
• 形狀: liquid
• 反應適用性: core: titanium
• bp: 80 °C/0.1 mmHg (lit.)
• 密度: 0.923 g/mL at 25 °C (lit.)
• 儲存溫度: 2-8°C
• SMILES 字串: CCN(C)[Ti](N(C)CC)(N(C)CC)N(C)CC
• InChI: 1S/4C3H8N.Ti/c4*1-3-4-2;/h4*3H2,1-2H3;/q4*-1;+4
• InChI 密鑰: LNKYFCABELSPAN-UHFFFAOYSA-N

描述

一般說明

Atomic number of base material: 22 Titanium

應用

在有机金属化学气相沉积 (OMCVD) 中作为一氮化钛 (TiN) 薄膜的前体。

其他說明

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安全資訊

• 象形圖: GHS02,GHS05
• 訊號詞: Danger
• 危險聲明: H225,H260,H314
• 防範說明: P210 - P223 - P231 + P232 - P280 - P303 + P361 + P353 - P305 + P351 + P338
• 危險分類: Flam. Liq. 2 - Skin Corr. 1B - Water-react 1
• 安全危害: EUH014
• 儲存類別代碼: 4.3 - Hazardous materials which set free flammable gases upon contact with water
• 水污染物質分類（WGK）: WGK 3
• 閃點（°F）: 35.6 °F - closed cup
• 閃點（°C）: 2 °C - closed cup
• 個人防護裝備: Faceshields, Gloves, Goggles, type ABEK (EN14387) respirator filter