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760293
2,4,6,8-Tetramethylcyclotetrasiloxan
packaged for use in deposition systems
Synonym(e):
TMCTS
Anmeldenzur Ansicht organisationsspezifischer und vertraglich vereinbarter Preise
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About This Item
Lineare Formel:
(HSiCH3O)4
CAS-Nummer:
Molekulargewicht:
240.51
Beilstein:
1775282
EG-Nummer:
MDL-Nummer:
UNSPSC-Code:
12352103
PubChem Substanz-ID:
NACRES:
NA.23
Empfohlene Produkte
Qualität
deposition grade
Assay
≥99.5% (GC)
≥99.999% (trace metals analysis)
Form
liquid
Brechungsindex
n20/D 1.387 (lit.)
bp
134 °C (lit.)
mp (Schmelzpunkt)
−69 °C (lit.)
Dichte
0.986 g/mL at 25 °C (lit.)
Lagertemp.
2-8°C
SMILES String
C[SiH]1O[SiH](C)O[SiH](C)O[SiH](C)O1
InChI
1S/C4H16O4Si4/c1-9-5-10(2)7-12(4)8-11(3)6-9/h9-12H,1-4H3
InChIKey
BQYPERTZJDZBIR-UHFFFAOYSA-N
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Anwendung
2, 4, 6, 8-Tetramethylcyclotetrasiloxane (TMCTS) is an important precursor for the deposition of polysiloxane, cyclic siloxane, silicon dioxide, oxycarbide thin films with low dielectric constant for microelectronics, semiconductors and other applications
Leistungsmerkmale und Vorteile
Precursor for gate dielectrics in thin-film transistors (TFT), and is a component of photochemically formed SiOX monolayers on TiO.
Hier finden Sie alle aktuellen Versionen:
Analysenzertifikate (COA)
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