760293

2,4,6,8-Tetramethylcyclotetrasiloxane

packaged for use in deposition systems

• Synonim(y): 1,3,5,7-Cyclotetra(methylsiloxane), 1,3,5,7-Tetramethylcyclotetrasiloxane, TMCTS
• Wzór liniowy: (HSiCH₃O)₄
• Numer CAS: 2370-88-9
• Masa cząsteczkowa: 240.51
• Beilstein: 1775282
• Numer WE: 219-137-4
• Numer MDL: MFCD00039567
• Kod UNSPSC: 12352103
• Identyfikator substancji w PubChem: 329766852
• NACRES: NA.23

Właściwości

• klasa czystości: deposition grade
• Próba: ≥99.5% (GC); ≥99.999% (trace metals analysis)
• Postać: liquid
• współczynnik refrakcji: n20/D 1.387 (lit.)
• tw: 134 °C (lit.)
• mp: −69 °C (lit.)
• gęstość: 0.986 g/mL at 25 °C (lit.)
• temp. przechowywania: 2-8°C
• ciąg SMILES: C[SiH]1O[SiH](C)O[SiH](C)O[SiH](C)O1
• InChI: 1S/C4H16O4Si4/c1-9-5-10(2)7-12(4)8-11(3)6-9/h9-12H,1-4H3
• Klucz InChI: BQYPERTZJDZBIR-UHFFFAOYSA-N

Opis

Zastosowanie

2, 4, 6, 8-Tetramethylcyclotetrasiloxane (TMCTS) is an important precursor for the deposition of polysiloxane, cyclic siloxane, silicon dioxide, oxycarbide thin films with low dielectric constant for microelectronics, semiconductors and other applications

Cechy i korzyści

Precursor for gate dielectrics in thin-film transistors (TFT), and is a component of photochemically formed SiO_X monolayers on TiO.

This page may contain text that has been machine translated.

Informacja o środkach bezpieczeństwa

• Piktogramy: GHS02
• Hasło ostrzegawcze: Warning
• Zwroty wskazujące rodzaj zagrożenia: H226
• Klasyfikacja zagrożeń: Flam. Liq. 3
• Kod klasy składowania: 3 - Flammable liquids
• Klasa zagrożenia wodnego (WGK): WGK 3
• Temperatura zapłonu (°F): 75.2 °F - closed cup
• Temperatura zapłonu (°C): 24 °C - closed cup