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Merck
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安全性情報

553468

Sigma-Aldrich

トリス(tert-ブトキシ)シラノール

99.999%

別名:

TBS

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About This Item

化学式:
((CH3)3CO)3SiOH
CAS番号:
18166-43-3
分子量:
264.43
MDL番号:
MFCD00271024
UNSPSCコード:
12352103
PubChem Substance ID:
24879332
NACRES:
NA.23

品質水準

100

アッセイ

99.999%

形状

solid

bp

205-210 °C (lit.)

mp

63-65 °C (lit.)

SMILES記法

CC(C)(C)O[Si](O)(OC(C)(C)C)OC(C)(C)C

InChI

1S/C12H28O4Si/c1-10(2,3)14-17(13,15-11(4,5)6)16-12(7,8)9/h13H,1-9H3

InChI Key

HLDBBQREZCVBMA-UHFFFAOYSA-N

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詳細

トリス(tert-ブトキシ)シラノールは、さまざまな金属アルキルアミドと反応して、金属ケイ酸塩の蒸着のための前駆体としての役割を果たすことができます。また、シリカの沈着のための前駆体としても適しています。

アプリケーション

トリス(tert-アルコキシ)シラノールは、ケイ酸ハフニウムガラス膜の気相体積のためにテトラキス(ジメチルアミノ)-ハフニウム蒸気（Hf(N(CH3)2)4）と反応します。 トリス(tert-アルコキシ)シラノールは、非晶質の二酸化ケイ素と酸化アルミニウムのナノ積層のコンフォーマル性（密着度）の高い層の原子層堆積（ALD）に使用されます。

保管分類コード

11 - Combustible Solids

WGK

WGK 3

引火点(°F)

Not applicable

引火点(℃)

Not applicable

個人用保護具 (PPE)

Eyeshields, Gloves, type N95 (US)

適用法令

試験研究用途を考慮した関連法令を主に挙げております。化学物質以外については、一部の情報のみ提供しています。 製品を安全かつ合法的に使用することは、使用者の義務です。最新情報により修正される場合があります。WEBの反映には時間を要することがあるため、適宜SDSをご参照ください。

Jan Code

553468-5G:
553468-25G:
553468-BULK:
553468-VAR:

試験成績書（COA）

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