901621
Buffered oxide etchant (BOE) 10:1
Sinonimo/i:
BHF, Buffered HF
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About This Item
Codice UNSPSC:
12161700
NACRES:
NA.23
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Forma fisica
liquid
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Descrizione generale
Buffered oxide etchant (BOE) is a wet etchant used in microfabrication. Its primary use is in etching thin films of silicon dioxide (SiO2) or silicon nitride (Si3N4). It is a mixture of a buffering agent, such as ammonium fluoride (NH4F), and hydrofluoric acid (HF). Concentrated HF etches silicon dioxide too quickly for good process control and also peels photoresist used in lithographic patterning.
Applicazioni
Buffered oxide etchant (BOE) 10:1 can be used in the etching of titanium carbide, which can be used in microelectromechanical systems (MEMS). It can also be used in the etching of spin-on-dopant (SOD) for the development of conductor-insulator-conductor tunneling diodes. It can also be used to enhance the surface of fused quartz devices.
Avvertenze
Danger
Indicazioni di pericolo
Classi di pericolo
Acute Tox. 2 Dermal - Acute Tox. 3 Inhalation - Acute Tox. 3 Oral - Eye Dam. 1 - Skin Corr. 1B
Codice della classe di stoccaggio
6.1B - Non-combustible acute toxic Cat. 1 and 2 / very toxic hazardous materials
Classe di pericolosità dell'acqua (WGK)
WGK 2
Punto d’infiammabilità (°F)
Not applicable
Punto d’infiammabilità (°C)
Not applicable
Certificati d'analisi (COA)
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