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Sigma-Aldrich

Silicon tetrafluoride

electronic grade, ≥99.99%

Sinonimo/i:

Silicon(IV) fluoride

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About This Item

Formula condensata:
SiF4
Numero CAS:
7783-61-1
Peso molecolare:
104.08
Numero CE:
232-015-5
Numero MDL:
MFCD00040533
Codice UNSPSC:
12352300
ID PubChem:
24869885
NACRES:
NA.23

Grado

electronic grade

Saggio

≥99.99%

Forma fisica

liquid

Impiego in reazioni chimiche

core: silicon

Impurezze

<0.5 ppm Carbon monoxide (CO)
<1 ppm Argon + oxygen (Ar + O2)
<1 ppm Carbon dioxide (CO2)
<10 ppm Methane (CH4)
<3 ppm Nitrogen (N2)
<50 ppm Hydrogen fluoride (HF)

P. eboll.

−86 °C (lit.)

Punto di fusione

−90 °C (lit.)

Temp. transizione

critical temperature −14.2 °C

Densità

3.57 g/mL at 25 °C (lit.)

Stringa SMILE

F[Si](F)(F)F

InChI

1S/F4Si/c1-5(2,3)4
ABTOQLMXBSRXSM-UHFFFAOYSA-N

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Applicazioni

Silicon tetrafluoride is used in ion-implantation processes and as a precursor to fluorinated silica via plasma-assisted CVD. Mixtures of SiF4-SiH4-H2 have recently been used to deposit polycrystalline silicon thin films via remote plasma chemical vapor deposition (RPCVD). Such fluorinated thin films show visible photoluminescence (PL) at room temperature.

Confezionamento

Supplied in a carbon steel lecture bottle with a CGA180M/CGA110F needle valve installed.

Compatible with the following:
  • Aldrich® lecture-bottle station systems
  • Aldrich® lecture-bottle gas regulators

Altre note

See Technical Information Bulletin AL-151 Gas Regulators: Selection, Installation, and Operation

Note legali

Aldrich is a registered trademark of Sigma-Aldrich Co. LLC

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Z146838

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Valvola di controllo

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Valvola di spurgo

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Avvertenze

Danger

Indicazioni di pericolo

H280,H314,H330

Classi di pericolo

Acute Tox. 2 Inhalation - Eye Dam. 1 - Press. Gas Liquefied gas - Skin Corr. 1A

Rischi supp

EUH014,EUH029

Codice della classe di stoccaggio

2A - Gases

Classe di pericolosità dell'acqua (WGK)

WGK 3

Punto d’infiammabilità (°F)

Not applicable

Punto d’infiammabilità (°C)

Not applicable

Dispositivi di protezione individuale

Faceshields, Gloves, Goggles

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[Experimental study of toxic properties of silicon tetrafluoride].
G I Rumiantsev et al.
Gigiena i sanitariia, (5)(5), 31-33 (1991-05-01)
Kathryn George et al.
Dalton transactions (Cambridge, England : 2003), 40(7), 1584-1593 (2011-01-18)
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