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Tetrakis(dimethylamido)hafnium(IV)

packaged for use in deposition systems

• Synonym(e): TDMAH, Tetrakis-(dimethylamino)-hafnium(IV)
• Lineare Formel: [(CH₃)₂N]₄Hf
• CAS-Nummer: 19782-68-4
• Molekulargewicht: 354.79
• MDL-Nummer: MFCD01862473
• UNSPSC-Code: 12352103
• PubChem Substanz-ID: 24884811
• NACRES: NA.23

Eigenschaften

• Qualitätsniveau: 100
• Assay: ≥99.99% (trace metals analysis)
• Form: low-melting solid
• Eignung der Reaktion: core: hafnium
• mp (Schmelzpunkt): 26-29 °C (lit.)
• Dichte: 1.098 g/mL at 25 °C
• SMILES String: CN(C)[Hf](N(C)C)(N(C)C)N(C)C
• InChI: 1S/4C2H6N.Hf/c4*1-3-2;/h4*1-2H3;/q4*-1;+4
• InChIKey: ZYLGGWPMIDHSEZ-UHFFFAOYSA-N

Beschreibung

Allgemeine Beschreibung

Alkylamide von Hafnium stellen einen praktischen und wirksamen Vorläufer für die Ablagerung von Atomschichten für glatte und amorphe Hafniumoxid-Dünnfilme dar.[1][2][3][4]

Anwendung

Für Abscheidungssysteme verpackte Vorläufer

Verwendung als Vorläufer für die Atomschichtablagerung von Hafniumoxid-Nanolaminaten, die in Halbleiterprodukten als Ersatz für Siliziumoxid verwendet werden.[1][2][3][4]

Sicherheitshinweise

• Piktogramme: GHS02,GHS05
• Signalwort: Danger
• H-Sätze: H228,H261,H314
• P-Sätze: P210 - P231 + P232 - P280 - P305 + P351 + P338 - P370 + P378 - P402 + P404
• Gefahreneinstufungen: Flam. Sol. 1 - Skin Corr. 1B - Water-react 2
• Zusätzliche Gefahrenhinweise: EUH014
• Lagerklassenschlüssel: 4.3 - Hazardous materials which set free flammable gases upon contact with water
• WGK: WGK 3
• Flammpunkt (°F): 109.4 °F - closed cup
• Flammpunkt (°C): 43 °C - closed cup
• Persönliche Schutzausrüstung: Eyeshields, Faceshields, Gloves, type P3 (EN 143) respirator cartridges