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四（二甲基氨基）铪 (Ⅳ)

packaged for use in deposition systems

• 别名: TDMAH, 四(二甲胺基)铪(IV)
• 线性分子式: [(CH₃)₂N]₄Hf
• CAS号: 19782-68-4
• 分子量: 354.79
• MDL编号: MFCD01862473
• UNSPSC代码: 12352103
• PubChem化学物质编号: 24884811
• NACRES: NA.23

属性

• 质量水平: 100
• 方案: ≥99.99% (trace metals analysis)
• 表单: low-melting solid
• 反应适用性: core: hafnium
• mp: 26-29 °C (lit.)
• 密度: 1.098 g/mL at 25 °C
• SMILES字符串: CN(C)[Hf](N(C)C)(N(C)C)N(C)C
• InChI: 1S/4C2H6N.Hf/c4*1-3-2;/h4*1-2H3;/q4*-1;+4
• InChI key: ZYLGGWPMIDHSEZ-UHFFFAOYSA-N

说明

一般描述

铪烷基酰胺是制备平滑非晶氧化铪薄膜的一种简便有效的原子层沉积前驱体。

应用

为沉积系统包装的前体

用作氧化铪纳米层压板的原子层沉积的前体，其用作半导体器件中的氧化硅的替换物。

安全信息

• 象形图: GHS02,GHS05
• 警示用语：: Danger
• 危险声明: H228,H261,H314
• 预防措施声明: P210 - P231 + P232 - P280 - P305 + P351 + P338 - P370 + P378 - P402 + P404
• 危险分类: Flam. Sol. 1 - Skin Corr. 1B - Water-react 2
• 补充剂危害: EUH014
• 储存分类代码: 4.3 - Hazardous materials which set free flammable gases upon contact with water
• WGK: WGK 3
• 闪点(°F): 109.4 °F - closed cup
• 闪点(°C): 43 °C - closed cup
• 个人防护装备: Eyeshields, Faceshields, Gloves, type P3 (EN 143) respirator cartridges