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Sigma-Aldrich

Tetrakis(trimethylsilyloxy)silane

97%

Synonyme(s) :

1,1,1,5,5,5-Hexamethyl-3,3-bis[(trimethylsilyl)oxy]trisiloxane, Tetrakis(trimethylsilyl) silicate

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About This Item

Formule linéaire :
[(CH3)3SiO]4Si
Numéro CAS:
3555-47-3
Poids moléculaire :
384.84
Numéro CE :
222-613-4
Numéro MDL:
MFCD00051587
Code UNSPSC :
12352103
ID de substance PubChem :
24868927
Nomenclature NACRES :
NA.22

Pureté

97%

Indice de réfraction

n20/D 1.389 (lit.)

Point d'ébullition

103-106 °C/2 mmHg (lit.)

Densité

0.87 g/mL at 25 °C (lit.)

Chaîne SMILES 

C[Si](C)(C)O[Si](O[Si](C)(C)C)(O[Si](C)(C)C)O[Si](C)(C)C

InChI

1S/C12H36O4Si5/c1-17(2,3)13-21(14-18(4,5)6,15-19(7,8)9)16-20(10,11)12/h1-12H3

Clé InChI

VNRWTCZXQWOWIG-UHFFFAOYSA-N

Application

Tetrakis(trimethylsilyloxy)silane (TTMS) is an organosilicon compound used as a precursor to prepare nanostructured organosilicon polymer films by plasma-enhanced chemical vapor deposition (PECVD) at atmospheric pressure. TTMS along with cyclohexane can also be used to synthesize low dielectric constant SiCOH films by PECVD method.

Pictogrammes

Exclamation mark
GHS07

Mention d'avertissement

Warning

Mentions de danger

H315,H319,H335

Classification des risques

Eye Irrit. 2 - Skin Irrit. 2 - STOT SE 3

Organes cibles

Respiratory system

Code de la classe de stockage

10 - Combustible liquids

Classe de danger pour l'eau (WGK)

WGK 3

Point d'éclair (°F)

168.8 °F - closed cup

Point d'éclair (°C)

76 °C - closed cup

Équipement de protection individuelle

Eyeshields, Gloves, type ABEK (EN14387) respirator filter

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Liqin Zhi et al.
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