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Tantalum(V) ethoxide

packaged for use in deposition systems

Synonyme(s) :

PET, Pentaethoxytantalum, Pentaethyl tantalate, Tantalum pentaethoxide

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About This Item

Formule linéaire :
Ta(OC2H5)5
Numéro CAS:
6074-84-6
Poids moléculaire :
406.25
Numéro Beilstein :
3678999
Numéro CE :
228-010-2
Numéro MDL:
MFCD00049785
Code UNSPSC :
12352103
ID de substance PubChem :
329766860
Nomenclature NACRES :
NA.23

Forme

liquid

Indice de réfraction

n20/D 1.487 (lit.)

Point d'ébullition

155 °C/0.01 mmHg (lit.)

Pf

21 °C (lit.)

Densité

1.566 g/mL at 25 °C (lit.)

Chaîne SMILES 

CCO[Ta](OCC)(OCC)(OCC)OCC

InChI

1S/5C2H5O.Ta/c5*1-2-3;/h5*2H2,1H3;/q5*-1;+5

Clé InChI

HSXKFDGTKKAEHL-UHFFFAOYSA-N

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Application

Tantalum(V) ethoxide precursor is used to deposit ultra thin films of Tantalum oxide and other tantalum containing films by atomic layer deposition and chemical vapor deposition methods

Pictogrammes

Flame
GHS02

Mention d'avertissement

Warning

Mentions de danger

H226

Classification des risques

Flam. Liq. 3

Code de la classe de stockage

3 - Flammable liquids

Classe de danger pour l'eau (WGK)

WGK 1

Point d'éclair (°F)

84.2 °F - closed cup

Point d'éclair (°C)

29 °C - closed cup

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