Working as sol-gel precursor for the deposition of thin films
339113
Tantalum(V) ethoxide
Tantalum(V) ethoxide
99.98% trace metals basis
Synonyme(s) :
Pentaethoxytantalum, Pentaethyl tantalate, Tantalum ethylate, Tantalum pentaethoxide, Tantalum(V) ethoxide
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About This Item
Formule linéaire :
Ta(OC2H5)5
Numéro CAS:
Poids moléculaire :
406.25
Beilstein:
3678999
Numéro MDL:
Code UNSPSC :
12352103
ID de substance PubChem :
Nomenclature NACRES :
NA.23
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Niveau de qualité
Essai
99.98% trace metals basis
Forme
liquid
Pertinence de la réaction
core: tantalum
reagent type: catalyst
Impuretés
<2 wt. % toluene
Indice de réfraction
n20/D 1.487 (lit.)
pb
155 °C/0.01 mmHg (lit.)
Pf
21 °C (lit.)
Densité
1.566 g/mL at 25 °C (lit.)
Chaîne SMILES
CCO[Ta](OCC)(OCC)(OCC)OCC
InChI
1S/5C2H5O.Ta/c5*1-2-3;/h5*2H2,1H3;/q5*-1;+5
Clé InChI
HSXKFDGTKKAEHL-UHFFFAOYSA-N
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Description générale
Tantalum(V) ethoxide Ta(OC2H5)5 is a tantalum alkoxide that can be used as a precursor in the preparation of tantalum oxide by chemical vapor deposition (CVD). It has excellent volatility and thermal stability. It can be synthesized by anodic oxidation of tantalum plate in anhydrous ethanol.[1]
Mention d'avertissement
Warning
Mentions de danger
Conseils de prudence
Classification des risques
Flam. Liq. 3
Code de la classe de stockage
3 - Flammable liquids
Classe de danger pour l'eau (WGK)
WGK 1
Point d'éclair (°F)
84.2 °F - closed cup
Point d'éclair (°C)
29 °C - closed cup
Équipement de protection individuelle
Faceshields, Gloves, Goggles, type ABEK (EN14387) respirator filter
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