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詳細
die layer thickness 300 nm SiO2
die layer thickness 36 nm boron nitride
electrode layer thickness 60 nm gold
特徴
electrode medium serpentine
BN/SiO2 coating
メーカー／製品名
MS101
die L × W × thickness
20 mm × 10 mm × 525 μm, silicon
電極サイズ
10 nm , chrome
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