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Silane

≥99.998%, electronic grade

• Sinonimo/i: Silicon tetrahydride
• Formula condensata: SiH₄
• Numero CAS: 7803-62-5
• Peso molecolare: 32.12
• Numero CE: 232-263-4
• Numero MDL: MFCD00011228
• Codice UNSPSC: 12352300
• ID PubChem: 24860199

Proprietà

• Grado: electronic grade
• Densità del vapore: 1.1 (vs air)
• Saggio: ≥99.998%
• Stato: gas
• Resistività: >1000 Ω-cm
• Impurezze: <1 ppm Carbon dioxide (CO₂); <1 ppm Carbon monoxide (CO); <1 ppm Chlorosilanes; <1 ppm THC; <1 ppm Trisilane (Si₃H₈); <1 ppm Water (H₂O); <100 ppm Hydrogen (H₂); <2 ppm Nitrogen (N₂); <2 ppm Siloxanes; <5 ppm Disilane (Si₂H₆)
• P. ebollizione: −112 °C (lit.)
• Punto di fusione: −185 °C (lit.)
• Temp. transizione: critical temperature −3.4 °C
• Densità: 1.114 g/mL at 25 °C (lit.)
• Stringa SMILE: [SiH4]

Descrizione

Applicazioni

Silane is used in the deposition of amorphous silicon, epitaxial silicon and silicon based dielectrics. Polycrystalline films can be deposited on silicon wafers and glass substrates via remote plasma chemical vapor deposition (RPCVD) using a SiH₄-SiF₂-H₂ gas mixture. Silane is used widely as a dopant in the formation of III-IV semiconductor materials.

Prodotti consigliati

Stainless steel regulators Z527416 or Z527424 are recommended.

Informazioni sulla sicurezza

• Pittogrammi: GHS02,GHS04
• Avvertenze: Danger
• Indicazioni di pericolo: H220,H280
• Consigli di prudenza: P210 - P377 - P381 - P410 + P403
• Classi di pericolo: Flam. Gas 1A - Press. Gas Compr. Gas
• Codice della classe di stoccaggio: 2A - Gases
• Classe di pericolosità dell'acqua (WGK): WGK 1
• Punto d’infiammabilità (°F): Not applicable
• Punto d’infiammabilità (°C): Not applicable
• Dispositivi di protezione individuale: Eyeshields, Faceshields, Gloves, multi-purpose combination respirator cartridge (US)