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硅烷

≥99.998%, electronic grade

• 别名: 四氢化硅
• 线性分子式: SiH₄
• CAS号: 7803-62-5
• 分子量: 32.12
• EC號碼: 232-263-4
• MDL號碼: MFCD00011228
• 分類程式碼代碼: 12352300
• PubChem物質ID: 24860199

属性

• 等級: electronic grade
• 蒸汽密度: 1.1 (vs air)
• 化驗: ≥99.998%
• 形狀: gas
• 電阻係數: >1000 Ω-cm
• 雜質: <1 ppm Carbon dioxide (CO₂); <1 ppm Carbon monoxide (CO); <1 ppm Chlorosilanes; <1 ppm THC; <1 ppm Trisilane (Si₃H₈); <1 ppm Water (H₂O); <100 ppm Hydrogen (H₂); <2 ppm Nitrogen (N₂); <2 ppm Siloxanes; <5 ppm Disilane (Si₂H₆)
• bp: −112 °C (lit.)
• mp: −185 °C (lit.)
• 轉變溫度: critical temperature −3.4 °C
• 密度: 1.114 g/mL at 25 °C (lit.)
• SMILES 字串: [SiH4]

说明

應用

将硅烷用于无定形硅、外延硅和硅基电介质的沉积。可利用 SiH₄-SiF₂-H₂ 气体混合物通过远程等离子体化学气相沉积 (RPCVD) 在硅晶片和玻璃基底上沉积多晶薄膜。硅烷在形成 III-IV 半导体材料时广泛用作掺杂剂。

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安全信息

• 象形圖: GHS02,GHS04
• 訊號詞: Danger
• 危險聲明: H220,H280
• 防範說明: P210 - P377 - P381 - P410 + P403
• 危險分類: Flam. Gas 1A - Press. Gas Compr. Gas
• 儲存類別代碼: 2A - Gases
• 水污染物質分類（WGK）: WGK 1
• 閃點（°F）: Not applicable
• 閃點（°C）: Not applicable
• 個人防護裝備: Eyeshields, Faceshields, Gloves, multi-purpose combination respirator cartridge (US)