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Sigma-Aldrich

Tris(tert-butoxy)silanol

99.999%

Synonyme(s) :

TBS

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About This Item

Formule linéaire :
((CH3)3CO)3SiOH
Numéro CAS:
18166-43-3
Poids moléculaire :
264.43
Numéro MDL:
MFCD00271024
Code UNSPSC :
12352103
ID de substance PubChem :
24879332
Nomenclature NACRES :
NA.23

Pureté

99.999%

Forme

solid

Point d'ébullition

205-210 °C (lit.)

Pf

63-65 °C (lit.)

Chaîne SMILES 

CC(C)(C)O[Si](O)(OC(C)(C)C)OC(C)(C)C

InChI

1S/C12H28O4Si/c1-10(2,3)14-17(13,15-11(4,5)6)16-12(7,8)9/h13H,1-9H3

Clé InChI

HLDBBQREZCVBMA-UHFFFAOYSA-N

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Description générale

Tris(tert-butoxy)silanol can react with various metal alkyl amides to act as precursors for vapor deposition metal silicates. It also acts as a suitable precursor for deposition of silica.

Application

Tris(tert-alkoxy)silanols reacts with tetrakis(dimethylamino)-hafnium vapor(Hf(N(CH3)2)4) for vapor phase deposition of hafnium silicate glass films. Tris(tert-butoxy)silanol is used for atomic layer deposition (ALD) of highly conformal layers of amorphous silicon dioxide and aluminum oxide nanolaminates.

Code de la classe de stockage

11 - Combustible Solids

Classe de danger pour l'eau (WGK)

WGK 3

Point d'éclair (°F)

Not applicable

Point d'éclair (°C)

Not applicable

Équipement de protection individuelle

Eyeshields, Gloves, type N95 (US)

Certificats d'analyse (COA)

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