333891

Silane

≥99.998%, electronic grade

• Synonyme(s) : Silicon tetrahydride
• Formule linéaire : SiH₄
• Numéro CAS: 7803-62-5
• Poids moléculaire : 32.12
• Numéro CE : 232-263-4
• Numéro MDL: MFCD00011228
• Code UNSPSC : 12352300
• ID de substance PubChem : 24860199

Propriétés

• Qualité: electronic grade
• Densité de vapeur: 1.1 (vs air)
• Pureté: ≥99.998%
• Forme: gas
• Résistivité: >1000 Ω-cm
• Impuretés: <1 ppm Carbon dioxide (CO₂); <1 ppm Carbon monoxide (CO); <1 ppm Chlorosilanes; <1 ppm THC; <1 ppm Trisilane (Si₃H₈); <1 ppm Water (H₂O); <100 ppm Hydrogen (H₂); <2 ppm Nitrogen (N₂); <2 ppm Siloxanes; <5 ppm Disilane (Si₂H₆)
• Point d'ébullition: −112 °C (lit.)
• Pf: −185 °C (lit.)
• Température de transition: critical temperature −3.4 °C
• Densité: 1.114 g/mL at 25 °C (lit.)
• Chaîne SMILES: [SiH4]

Description

Application

Silane is used in the deposition of amorphous silicon, epitaxial silicon and silicon based dielectrics. Polycrystalline films can be deposited on silicon wafers and glass substrates via remote plasma chemical vapor deposition (RPCVD) using a SiH₄-SiF₂-H₂ gas mixture. Silane is used widely as a dopant in the formation of III-IV semiconductor materials.

Produits recommandés

Stainless steel regulators Z527416 or Z527424 are recommended.

Informations sur la sécurité

• Pictogrammes: GHS02,GHS04
• Mention d'avertissement: Danger
• Mentions de danger: H220,H280
• Conseils de prudence: P210 - P377 - P381 - P410 + P403
• Classification des risques: Flam. Gas 1A - Press. Gas Compr. Gas
• Code de la classe de stockage: 2A - Gases
• Classe de danger pour l'eau (WGK): WGK 1
• Point d'éclair (°F): Not applicable
• Point d'éclair (°C): Not applicable
• Équipement de protection individuelle: Eyeshields, Faceshields, Gloves, multi-purpose combination respirator cartridge (US)