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Sigma-Aldrich

Silicon tetrafluoride

electronic grade, ≥99.99%

Sinónimos:

Silicon(IV) fluoride

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About This Item

Fórmula lineal:
SiF4
Número de CAS:
7783-61-1
Peso molecular:
104.08
Número CE:
232-015-5
Número MDL:
MFCD00040533
Código UNSPSC:
12352300
ID de la sustancia en PubChem:
24869885
NACRES:
NA.23

grado

electronic grade

Análisis

≥99.99%

formulario

liquid

idoneidad de la reacción

core: silicon

impurezas

<0.5 ppm Carbon monoxide (CO)
<1 ppm Argon + oxygen (Ar + O2)
<1 ppm Carbon dioxide (CO2)
<10 ppm Methane (CH4)
<3 ppm Nitrogen (N2)
<50 ppm Hydrogen fluoride (HF)

bp

−86 °C (lit.)

mp

−90 °C (lit.)

temperatura de transición

critical temperature −14.2 °C

densidad

3.57 g/mL at 25 °C (lit.)

cadena SMILES

F[Si](F)(F)F

InChI

1S/F4Si/c1-5(2,3)4

Clave InChI

ABTOQLMXBSRXSM-UHFFFAOYSA-N

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Aplicación

Silicon tetrafluoride is used in ion-implantation processes and as a precursor to fluorinated silica via plasma-assisted CVD. Mixtures of SiF4-SiH4-H2 have recently been used to deposit polycrystalline silicon thin films via remote plasma chemical vapor deposition (RPCVD). Such fluorinated thin films show visible photoluminescence (PL) at room temperature.

Envase

Supplied in a carbon steel lecture bottle with a CGA180M/CGA110F needle valve installed.

Compatible with the following:
  • Aldrich® lecture-bottle station systems
  • Aldrich® lecture-bottle gas regulators

Otras notas

See Technical Information Bulletin AL-151 Gas Regulators: Selection, Installation, and Operation

Información legal

Aldrich is a registered trademark of Sigma-Aldrich Co. LLC

Opcional

Referencia del producto
Descripción
Precios

espiga

Referencia del producto
Descripción
Precios

Z146838

Hose adapter, stainless steel

regulador

Referencia del producto
Descripción
Precios

también adquirido normalmente con este producto

Referencia del producto
Descripción
Precios

válvula de control

Referencia del producto
Descripción
Precios

válvula de purga

Referencia del producto
Descripción
Precios

Z151661

"T"-purge valve, CGA Inlet size 180

Palabra de señalización

Danger

Frases de peligro

H280,H314,H330

Clasificaciones de peligro

Acute Tox. 2 Inhalation - Eye Dam. 1 - Press. Gas Liquefied gas - Skin Corr. 1A

Riesgos supl.

EUH014,EUH029

Código de clase de almacenamiento

2A - Gases

Clase de riesgo para el agua (WGK)

WGK 3

Punto de inflamabilidad (°F)

Not applicable

Punto de inflamabilidad (°C)

Not applicable

Equipo de protección personal

Faceshields, Gloves, Goggles

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[Experimental study of toxic properties of silicon tetrafluoride].
G I Rumiantsev et al.
Gigiena i sanitariia, (5)(5), 31-33 (1991-05-01)
Kathryn George et al.
Dalton transactions (Cambridge, England : 2003), 40(7), 1584-1593 (2011-01-18)
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Cicala, G.
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Shou-Nan Li et al.
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