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NIST2134

Arsenic implant in silicon depth profile standard

NIST SRM 2134

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About This Item

Code UNSPSC :
41116107
Nomenclature NACRES :
NA.24

Qualité

certified reference material

Niveau de qualité

100

Conditionnement

pkg of each

Fabricant/nom de marque

NIST®

Application(s)

semiconductor

Format

matrix material

Description générale

Each unit of SRM 2134 contains a single crystal silicon substrate, measuring 1 cm by 1 cm, which is ion-implanted with the isotope 75 As at an approximate energy of 100 keV.

SRM 2134_cert

SRM 2134_SDS

Application

The SRM is used to calibrate the secondary ion response to detect the minor and trace levels of arsenic within a silicon matrix using the analytical technique of secondary ion mass spectrometry (SIMS).

Caractéristiques et avantages

  • Available with a certificate documenting NIST-certified value for retained dose of 75As atoms and the dose is expressed in units of arsenic mass per unit area.
  • The reference and information values of elements are reported as mass fraction.
  • Certified values are retained dose of 75As atoms, and the dose is expressed in units of arsenic mass per unit area.
  • The NIST certificate is provided with expiration certificate, use, storage, handling, and maintenance instructions.

Autres remarques

Example analytes are listed below as a reference. Please download a current certificate at nist.gov/SRM for current analytes and certified values.
Arsenic (75As)

See certificate for values and more details at nist.gov/SRM.

Informations légales

NIST is a registered trademark of National Institute of Standards and Technology

Produit(s) apparenté(s)

Réf. du produit
Description
Tarif

Code de la classe de stockage

13 - Non Combustible Solids

Classe de danger pour l'eau (WGK)

nwg

Point d'éclair (°F)

Not applicable

Point d'éclair (°C)

Not applicable

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