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Pentakis(dimethylamino)tantalum(V)

99.99%

• Sinónimos: PDMAT, TADMA, Ta(NMe₂)₅, Tantalum dimethylamide
• Fórmula lineal: Ta(N(CH₃)₂)₅
• Número de CAS: 19824-59-0
• Peso molecular: 401.33
• Número MDL: MFCD01631286
• Código UNSPSC: 12352103
• ID de la sustancia en PubChem: 24873088
• NACRES: NA.23

Propiedades

• Nivel de calidad: 100
• Ensayo: 99.99%
• Formulario: solid
• idoneidad de la reacción: core: tantalum; reagent type: catalyst
• mp: 100 °C (dec.) (lit.)
• cadena SMILES: CN(C)[Ta](N(C)C)(N(C)C)(N(C)C)N(C)C
• InChI: 1S/5C2H6N.Ta/c5*1-3-2;/h5*1-2H3;/q5*-1;+5
• Clave InChI: VSLPMIMVDUOYFW-UHFFFAOYSA-N

Descripción

Descripción general

Atomic number of base material: 73 Tantalum

Características y beneficios

Volatile solid CVD precursor to tantalum nitride (TaN) thin films. Also yields tantalum oxide (Ta₂O₅) thin films when O₂, H₂O, NO or H₂O₂ is present during the deposition process. Ta₂O₅ thins films show promise as gate dielectric materials in the manufacture of integrated circuits.

Información de seguridad

• Pictogramas: GHS02,GHS05
• Palabra de señalización: Danger
• Frases de peligro: H228,H260,H314
• Consejos de prudencia: P210 - P231 + P232 - P260 - P280 - P303 + P361 + P353 - P305 + P351 + P338
• Clasificaciones de peligro: Eye Dam. 1 - Flam. Sol. 1 - Skin Corr. 1B - Water-react 1
• Código de clase de almacenamiento: 4.3 - Hazardous materials which set free flammable gases upon contact with water
• Clase de riesgo para el agua (WGK): WGK 3
• Punto de inflamabilidad (°F): Not applicable
• Punto de inflamabilidad (°C): Not applicable
• Equipo de protección personal: Eyeshields, Faceshields, Gloves, type P3 (EN 143) respirator cartridges