760404

Tantalum(V) ethoxide

packaged for use in deposition systems

• Synonim(y): PET, Pentaethoxytantalum, Pentaethyl tantalate, Tantalum pentaethoxide
• Wzór liniowy: Ta(OC₂H₅)₅
• Numer CAS: 6074-84-6
• Masa cząsteczkowa: 406.25
• UNSPSC Code: 12352103
• NACRES: NA.23
• PubChem Substance ID: 329766860
• EC Number: 228-010-2
• Beilstein/REAXYS Number: 3678999
• MDL number: MFCD00049785

Właściwości

• form: liquid
• refractive index: n20/D 1.487 (lit.)
• bp: 155 °C/0.01 mmHg (lit.)
• mp: 21 °C (lit.)
• density: 1.566 g/mL at 25 °C (lit.)
• SMILES string: CCO[Ta](OCC)(OCC)(OCC)OCC
• InChI: 1S/5C2H5O.Ta/c5*1-2-3;/h5*2H2,1H3;/q5*-1;+5
• InChI key: HSXKFDGTKKAEHL-UHFFFAOYSA-N

Opis

Application

Tantalum(V) ethoxide precursor is used to deposit ultra thin films of Tantalum oxide and other tantalum containing films by atomic layer deposition and chemical vapor deposition methods

Ta strona może zawierać tekst przetłumaczony maszynowo.

Informacja o środkach bezpieczeństwa

• Piktogramy: GHS02
• Słowo ostrzegawcze: Warning
• Kody zagrożeń: H226
• Ostrzeżenia: P210 - P233 - P240 - P241 - P242 - P243
• Hazard Classifications: Flam. Liq. 3
• Klasa składowania: 3 - Flammable liquids
• Co się dzieje?: WGK 1
• Temperatura zapłonu (°F): 84.2 °F - closed cup
• Temperatura zapłonu (°C): 29 °C - closed cup