667498
Wolfram-Hexacarbonyl
Synonym(e):
Wolfram-Ätzmittel
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Allgemeine Beschreibung
Tungsten etchant is a mixture of potassium hydroxide and potassium ferricyanide based solution that facilitates the removal of tungsten and other materials like aluminium by dipping the substrate into the etching solution.
Anwendung
Selective etchants for tungsten thin-film metallizations used in semiconductor and microelectronics technology. Etchants are buffered, mildly alkaline ferricyanide-based formulations providing high resolution patterns with minimal undercutting and photoresist compatibility. Controlled, uniform etching is achieved by immersion or spray etch technique.
Angaben zur Herstellung
Etch Rate (Immersion)
20 °C 30Å/sec.
30 °C 140Å/sec.
60 °C 250Å/sec.
Rinse with DI water
20 °C 30Å/sec.
30 °C 140Å/sec.
60 °C 250Å/sec.
Rinse with DI water
Signalwort
Danger
H-Sätze
Gefahreneinstufungen
Aquatic Chronic 3 - Eye Dam. 1 - Met. Corr. 1 - Skin Corr. 1A
Zusätzliche Gefahrenhinweise
Lagerklassenschlüssel
8B - Non-combustible corrosive hazardous materials
WGK
WGK 2
Flammpunkt (°F)
Not applicable
Flammpunkt (°C)
Not applicable
Persönliche Schutzausrüstung
Faceshields, Gloves, Goggles, type ABEK (EN14387) respirator filter
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