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Merck

667498

Sigma-Aldrich

Wolfram-Hexacarbonyl

Synonym(e):

Wolfram-Ätzmittel

Anmeldenzur Ansicht organisationsspezifischer und vertraglich vereinbarter Preise


About This Item

MDL-Nummer:
UNSPSC-Code:
12352300
NACRES:
NA.23

Allgemeine Beschreibung

Tungsten etchant is a mixture of potassium hydroxide and potassium ferricyanide based solution that facilitates the removal of tungsten and other materials like aluminium by dipping the substrate into the etching solution.

Anwendung

Selective etchants for tungsten thin-film metallizations used in semiconductor and microelectronics technology. Etchants are buffered, mildly alkaline ferricyanide-based formulations providing high resolution patterns with minimal undercutting and photoresist compatibility. Controlled, uniform etching is achieved by immersion or spray etch technique.

Angaben zur Herstellung

Etch Rate (Immersion)
20 °C 30Å/sec.
30 °C 140Å/sec.
60 °C 250Å/sec.
Rinse with DI water

Piktogramme

Corrosion

Signalwort

Danger

Gefahreneinstufungen

Aquatic Chronic 3 - Eye Dam. 1 - Met. Corr. 1 - Skin Corr. 1A

Zusätzliche Gefahrenhinweise

Lagerklassenschlüssel

8B - Non-combustible corrosive hazardous materials

WGK

WGK 2

Flammpunkt (°F)

Not applicable

Flammpunkt (°C)

Not applicable

Persönliche Schutzausrüstung

Faceshields, Gloves, Goggles, type ABEK (EN14387) respirator filter


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Pattern processing results and characteristics for SCALPEL masks.
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