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Sigma-Aldrich

Silicon tetrafluoride

electronic grade, ≥99.99%

Synonyme(s) :

Silicon(IV) fluoride

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About This Item

Formule linéaire :
SiF4
Numéro CAS:
Poids moléculaire :
104.08
Numéro CE :
Numéro MDL:
Code UNSPSC :
12352300
ID de substance PubChem :
Nomenclature NACRES :
NA.23

Qualité

electronic grade

Pureté

≥99.99%

Forme

liquid

Pertinence de la réaction

core: silicon

Impuretés

<0.5 ppm Carbon monoxide (CO)
<1 ppm Argon + oxygen (Ar + O2)
<1 ppm Carbon dioxide (CO2)
<10 ppm Methane (CH4)
<3 ppm Nitrogen (N2)
<50 ppm Hydrogen fluoride (HF)

Point d'ébullition

−86 °C (lit.)

Pf

−90 °C (lit.)

Température de transition

critical temperature −14.2 °C

Densité

3.57 g/mL at 25 °C (lit.)

Chaîne SMILES 

F[Si](F)(F)F

InChI

1S/F4Si/c1-5(2,3)4

Clé InChI

ABTOQLMXBSRXSM-UHFFFAOYSA-N

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Application

Silicon tetrafluoride is used in ion-implantation processes and as a precursor to fluorinated silica via plasma-assisted CVD. Mixtures of SiF4-SiH4-H2 have recently been used to deposit polycrystalline silicon thin films via remote plasma chemical vapor deposition (RPCVD). Such fluorinated thin films show visible photoluminescence (PL) at room temperature.

Conditionnement

Supplied in a carbon steel lecture bottle with a CGA180M/CGA110F needle valve installed.

Compatible with the following:
  • Aldrich® lecture-bottle station systems
  • Aldrich® lecture-bottle gas regulators

Autres remarques

Informations légales

Aldrich is a registered trademark of Sigma-Aldrich Co. LLC

Pictogrammes

Gas cylinderSkull and crossbonesCorrosion

Mention d'avertissement

Danger

Mentions de danger

Classification des risques

Acute Tox. 2 Inhalation - Eye Dam. 1 - Press. Gas Liquefied gas - Skin Corr. 1A

Risques supp

Code de la classe de stockage

2A - Gases

Classe de danger pour l'eau (WGK)

WGK 3

Point d'éclair (°F)

Not applicable

Point d'éclair (°C)

Not applicable

Équipement de protection individuelle

Faceshields, Gloves, Goggles


Certificats d'analyse (COA)

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