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Merck

760293

Sigma-Aldrich

2,4,6,8-Tetramethylcyclotetrasiloxane

packaged for use in deposition systems

Sinónimos:

1,3,5,7-Cyclotetra(methylsiloxane), 1,3,5,7-Tetramethylcyclotetrasiloxane, TMCTS

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About This Item

Fórmula lineal:
(HSiCH3O)4
Número de CAS:
Peso molecular:
240.51
Beilstein:
1775282
Número CE:
Número MDL:
Código UNSPSC:
12352103
ID de la sustancia en PubChem:
NACRES:
NA.23

grado

deposition grade

Análisis

≥99.5% (GC)
≥99.999% (trace metals analysis)

formulario

liquid

índice de refracción

n20/D 1.387 (lit.)

bp

134 °C (lit.)

mp

−69 °C (lit.)

densidad

0.986 g/mL at 25 °C (lit.)

temp. de almacenamiento

2-8°C

cadena SMILES

C[SiH]1O[SiH](C)O[SiH](C)O[SiH](C)O1

InChI

1S/C4H16O4Si4/c1-9-5-10(2)7-12(4)8-11(3)6-9/h9-12H,1-4H3

Clave InChI

BQYPERTZJDZBIR-UHFFFAOYSA-N

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Aplicación

2, 4, 6, 8-Tetramethylcyclotetrasiloxane (TMCTS) is an important precursor for the deposition of polysiloxane, cyclic siloxane, silicon dioxide, oxycarbide thin films with low dielectric constant for microelectronics, semiconductors and other applications

Características y beneficios

Precursor for gate dielectrics in thin-film transistors (TFT), and is a component of photochemically formed SiOX monolayers on TiO.

Pictogramas

Flame

Palabra de señalización

Warning

Frases de peligro

Clasificaciones de peligro

Flam. Liq. 3

Código de clase de almacenamiento

3 - Flammable liquids

Clase de riesgo para el agua (WGK)

WGK 3

Punto de inflamabilidad (°F)

75.2 °F - closed cup

Punto de inflamabilidad (°C)

24 °C - closed cup


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