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Silane

≥99.998%, electronic grade

• Sinónimos: Silicon tetrahydride
• Fórmula lineal: SiH₄
• Número de CAS: 7803-62-5
• Peso molecular: 32.12
• Número CE: 232-263-4
• Número MDL: MFCD00011228
• Código UNSPSC: 12352300
• ID de la sustancia en PubChem: 24860199

Propiedades

• grado: electronic grade
• densidad de vapor: 1.1 (vs air)
• Ensayo: ≥99.998%
• Formulario: gas
• resistividad: >1000 Ω-cm
• impurezas: <1 ppm Carbon dioxide (CO₂); <1 ppm Carbon monoxide (CO); <1 ppm Chlorosilanes; <1 ppm THC; <1 ppm Trisilane (Si₃H₈); <1 ppm Water (H₂O); <100 ppm Hydrogen (H₂); <2 ppm Nitrogen (N₂); <2 ppm Siloxanes; <5 ppm Disilane (Si₂H₆)
• bp: −112 °C (lit.)
• mp: −185 °C (lit.)
• temperatura de transición: critical temperature −3.4 °C
• densidad: 1.114 g/mL at 25 °C (lit.)
• cadena SMILES: [SiH4]

Descripción

Aplicación

Silane is used in the deposition of amorphous silicon, epitaxial silicon and silicon based dielectrics. Polycrystalline films can be deposited on silicon wafers and glass substrates via remote plasma chemical vapor deposition (RPCVD) using a SiH₄-SiF₂-H₂ gas mixture. Silane is used widely as a dopant in the formation of III-IV semiconductor materials.

Productos recomendados

Stainless steel regulators Z527416 or Z527424 are recommended.

Información de seguridad

• Pictogramas: GHS02,GHS04
• Palabra de señalización: Danger
• Frases de peligro: H220,H280
• Consejos de prudencia: P210 - P377 - P381 - P410 + P403
• Clasificaciones de peligro: Flam. Gas 1A - Press. Gas Compr. Gas
• Código de clase de almacenamiento: 2A - Gases
• Clase de riesgo para el agua (WGK): WGK 1
• Punto de inflamabilidad (°F): Not applicable
• Punto de inflamabilidad (°C): Not applicable
• Equipo de protección personal: Eyeshields, Faceshields, Gloves, multi-purpose combination respirator cartridge (US)