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Sigma-Aldrich

Silicon tetrafluoride

electronic grade, ≥99.99%

Synonyme(s) :

Silicon(IV) fluoride

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About This Item

Formule linéaire :
SiF4
Numéro CAS:
7783-61-1
Poids moléculaire :
104.08
Numéro CE :
232-015-5
Numéro MDL:
MFCD00040533
Code UNSPSC :
12352300
ID de substance PubChem :
24869885
Nomenclature NACRES :
NA.23

Qualité

electronic grade

Essai

≥99.99%

Forme

liquid

Pertinence de la réaction

core: silicon

Impuretés

<0.5 ppm Carbon monoxide (CO)
<1 ppm Argon + oxygen (Ar + O2)
<1 ppm Carbon dioxide (CO2)
<10 ppm Methane (CH4)
<3 ppm Nitrogen (N2)
<50 ppm Hydrogen fluoride (HF)

pb

−86 °C (lit.)

Pf

−90 °C (lit.)

Température de transition

critical temperature −14.2 °C

Densité

3.57 g/mL at 25 °C (lit.)

Chaîne SMILES 

F[Si](F)(F)F

InChI

1S/F4Si/c1-5(2,3)4

Clé InChI

ABTOQLMXBSRXSM-UHFFFAOYSA-N

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Application

Silicon tetrafluoride is used in ion-implantation processes and as a precursor to fluorinated silica via plasma-assisted CVD. Mixtures of SiF4-SiH4-H2 have recently been used to deposit polycrystalline silicon thin films via remote plasma chemical vapor deposition (RPCVD). Such fluorinated thin films show visible photoluminescence (PL) at room temperature.

Conditionnement

Supplied in a carbon steel lecture bottle with a CGA180M/CGA110F needle valve installed.

Compatible with the following:
  • Aldrich® lecture-bottle station systems
  • Aldrich® lecture-bottle gas regulators

Autres remarques

See Technical Information Bulletin AL-151 Gas Regulators: Selection, Installation, and Operation

Informations légales

Aldrich is a registered trademark of Sigma-Aldrich Co. LLC

En option

Réf. du produit
Description
Tarif

Raccord cannelé

Réf. du produit
Description
Tarif

Z146838

Hose adapter, stainless steel

Régulateur

Réf. du produit
Description
Tarif

Souvent commandé avec ce produit

Réf. du produit
Description
Tarif

Vanne de purge

Réf. du produit
Description
Tarif

Vanne de régulation

Réf. du produit
Description
Tarif

Pictogrammes

Gas cylinderSkull and crossbonesCorrosion
GHS04,GHS06,GHS05

Mention d'avertissement

Danger

Mentions de danger

H280,H314,H330

Classification des risques

Acute Tox. 2 Inhalation - Eye Dam. 1 - Press. Gas Liquefied gas - Skin Corr. 1A

Risques supp

EUH014,EUH029

Code de la classe de stockage

2A - Gases

Classe de danger pour l'eau (WGK)

WGK 3

Point d'éclair (°F)

Not applicable

Point d'éclair (°C)

Not applicable

Équipement de protection individuelle

Faceshields, Gloves, Goggles

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Certificats d'analyse (COA)

Lot/Batch Number
MKCG7219
MKBW6367V
02848KH
05651DE
09974HD

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Cicala, G.
Journal of Applied Physiology, 80, 6564-6564 (1996)
[Experimental study of toxic properties of silicon tetrafluoride].
G I Rumiantsev et al.
Gigiena i sanitariia, (5)(5), 31-33 (1991-05-01)
Kathryn George et al.
Dalton transactions (Cambridge, England : 2003), 40(7), 1584-1593 (2011-01-18)
The hypervalent adducts of SiF(4), trans-[SiF(4)(R(3)PO)(2)] (R = Me, Et or Ph), cis-[SiF(4){R(2)P(O)CH(2)P(O)R(2)}] (R = Me or Ph), cis-[SiF(4)(pyNO)(2)] and trans-[SiF(4)(DMSO)(2)] have been prepared from SiF(4) and the ligands in anhydrous CH(2)Cl(2), and characterised by microanalysis, IR and VT multinuclear
Diffusion and Defect Data, Solid State Data, Part B, 51-52, 149-149 (1996)
Journal of the Electrochemical Society, 143, 2640-2640 (1996)
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