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Sigma-Aldrich

Hexachlorodisilane

96%

Synonyme(s) :

1,1,1,2,2,2-Hexachlorodisilane, Disilicon hexachloride, HCDS

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About This Item

Formule linéaire :
(SiCl3)2
Numéro CAS:
Poids moléculaire :
268.89
Numéro CE :
Numéro MDL:
Code UNSPSC :
12352103
ID de substance PubChem :
Nomenclature NACRES :
NA.23

Pureté

96%

Forme

liquid

Indice de réfraction

n20/D 1.475 (lit.)

Point d'ébullition

144-145.5 °C (lit.)

Densité

1.562 g/mL at 25 °C (lit.)

Chaîne SMILES 

Cl[Si](Cl)(Cl)[Si](Cl)(Cl)Cl

InChI

1S/Cl6Si2/c1-7(2,3)8(4,5)6

Clé InChI

LXEXBJXDGVGRAR-UHFFFAOYSA-N

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Description générale

Hexachlorodisilane (HCDS) is a chlorosilane used as a precursor for producing disilanes. It is a dioxidizer that is used in the production of silicon films and silicon nitride based films.

Application

HCDS can be used in the fabrication of silica aerogels by chemical vapor deposition (CVD), which can be potentially used as encapsulating agents and thermal insulators. It can also be used to synthesize 1,1,1,2,2,2-hexaamino-disilanes using CVD, which forms silicon-based films for microelectronic-based applications.
HCDS may be used as a reducing agent. It may be combined with ammonia to form silicon nitride by chemical vapor deposition(CVD) technique.

À utiliser avec

Pictogrammes

Corrosion

Mention d'avertissement

Danger

Mentions de danger

Classification des risques

Skin Corr. 1B

Risques supp

Code de la classe de stockage

8A - Combustible corrosive hazardous materials

Classe de danger pour l'eau (WGK)

WGK 3

Point d'éclair (°F)

Not applicable

Point d'éclair (°C)

Not applicable

Équipement de protection individuelle

Faceshields, Gloves, Goggles, type ABEK (EN14387) respirator filter


Certificats d'analyse (COA)

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Chemical vapor deposition of silicon films using hexachlorodisilane
Taylor, R. C., Scott, B. A., Lin, S. T., LeGoues, F., & Tsang, J. C.
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Journal of the Electrochemical Society, 147(6), 2284-2289 (2000)
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