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Merck
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901481

Sigma-Aldrich

Hexamethyldisilazane

10% solution in xylene

Sinónimos:

HMDS

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About This Item

Fórmula lineal:
C6H19NSi2
Número de CAS:
999-97-3
UNSPSC Code:
12352103
NACRES:
NA.23

form

liquid

InChI

1S/C6H19NSi2/c1-8(2,3)7-9(4,5)6/h7H,1-6H3

InChI key

FFUAGWLWBBFQJT-UHFFFAOYSA-N

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General description

The product is used to augment the adhesion of photoresist on silicon and SiO2 surfaces.
The effectiveness of HMDS on adhesion is correlated with the reactivity of this compound with surface hydroxyl groups to form a new siloxane end product, i.e. Si-O-Si(CH3)3. This newly formed termination on the substrate renders the surface more hydrophobic in character and leads to greater wettability by photoresist. The latter condition is a crucial factor in good bonding. As a result of these altered characteristics due to the surface chemistry, the treated silicon surfaces become highly compatible with both negative and positive photoresists.

Application

HMDS preparations are generally applied to the silicon wafer while spinning, prior to the application of photoresist. As an alternative procedure, the wafers may be immersed in HMDS preparations and allowed to dry after removal.

Features and Benefits

  • Ready-to-use preparations for surface treatment of silicon.
  • Promotes photoresist adhesion on silicon and SiO2 films.
  • Prevents lift-off at edges of photoresist and reduces undercutting.
  • Ensures full-line resolution.
  • Improves yields of MOS and integrated silicon devices.

signalword

Danger

Hazard Classifications

Acute Tox. 3 Dermal - Acute Tox. 4 Inhalation - Aquatic Chronic 3 - Asp. Tox. 1 - Eye Irrit. 2 - Flam. Liq. 3 - Skin Irrit. 2 - STOT RE 2 - STOT SE 3

target_organs

hearing organs, Respiratory system

Storage Class

3 - Flammable liquids

wgk_germany

WGK 2

flash_point_f

77.0 °F

flash_point_c

25 °C

Certificados de análisis (COA)

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