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Sigma-Aldrich

钨蚀刻剂

别名:

钨腐蚀剂

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About This Item

MDL號碼:
MFCD08705365
分類程式碼代碼:
12352300
NACRES:
NA.23

一般說明

钨腐蚀剂是一种基于氢氧化钾和铁氰化钾溶液的混合物，可通过将基底浸入蚀刻溶液中而有助于将钨和铝等材料进行去除。

應用

半导体和微电子技术中钨薄膜金属化的选择性蚀刻剂。蚀刻剂是缓冲式、温和碱性铁氰化物配方，提供高分辨率图案，具有最小切割和光刻胶兼容性。蚀刻剂可直接使用（不需要稀释）。可控、均匀蚀刻是通过浸渍或喷雾蚀刻技术实现的。蚀刻能力（速率在∼70%时下降）为64 g/加仑。建议工作温度：20-80 °C（30-40 °C最常用）

準備報告

1.根据下表选择蚀刻方法蚀刻速率（浸入） 蚀刻速率（喷雾）
  • 20°C = 30 Å/秒
  • 30°C = 140 Å/秒 20°C = 80 Å/秒
  • 60°C = 250 Å/秒

2.用去离子水冲洗

象形圖

Corrosion
GHS05

訊號詞

Danger

危險聲明

H290,H314,H412

危險分類

Aquatic Chronic 3 - Eye Dam. 1 - Met. Corr. 1 - Skin Corr. 1A

安全危害

EUH032

儲存類別代碼

8B - Non-combustible corrosive hazardous materials

水污染物質分類（WGK）

WGK 2

閃點（°F）

Not applicable

閃點（°C）

Not applicable

個人防護裝備

Faceshields, Gloves, Goggles, type ABEK (EN14387) respirator filter

分析证书(COA)

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