- Atomic layer deposition and properties of ZrO
Atomic layer deposition and properties of ZrO
Beilstein journal of nanotechnology (2018-02-15)
Kristjan Kalam, Helina Seemen, Peeter Ritslaid, Mihkel Rähn, Aile Tamm, Kaupo Kukli, Aarne Kasikov, Joosep Link, Raivo Stern, Salvador Dueñas, Helena Castán, Héctor García
PMID29441257
RÉSUMÉ
Thin solid films consisting of ZrO
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