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Sigma-Aldrich

Tetrakis(dimethylamido)titanium(IV)

99.999% trace metals basis

Synonyme(s) :

TDMAT, Tetrakis(dimethylamino)titanium(IV)

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About This Item

Formule linéaire :
[(CH3)2N]4Ti
Numéro CAS:
Poids moléculaire :
224.17
Numéro CE :
Numéro MDL:
Code UNSPSC :
12352103
ID de substance PubChem :
Nomenclature NACRES :
NA.23

Niveau de qualité

Pureté

99.999% trace metals basis

Forme

liquid

Pertinence de la réaction

core: titanium

Point d'ébullition

50 °C/0.5 mmHg (lit.)

Densité

0.947 g/mL at 25 °C (lit.)

Chaîne SMILES 

CN(C)[Ti](N(C)C)(N(C)C)N(C)C

InChI

1S/4C2H6N.Ti/c4*1-3-2;/h4*1-2H3;/q4*-1;+4

Clé InChI

MNWRORMXBIWXCI-UHFFFAOYSA-N

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Description générale

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Application

Tetrakis(dimethylamido)titanium(IV) (TDMAT) is a precursor to titanium nitride (TiN) thin films by organometallic chemical vapor deposition (OMCVD)and titanium dioxide thin films by atomic layer deposition (ALD).TDMAT undergoes exothermal reaction with excess cyclopentadiene to yield tris(dimethylamido)(η5-cyclopentadienyl)titanium(IV).

À utiliser avec

Pictogrammes

FlameCorrosion

Mention d'avertissement

Danger

Mentions de danger

Classification des risques

Flam. Liq. 2 - Skin Corr. 1B - Water-react 1

Risques supp

Code de la classe de stockage

4.3 - Hazardous materials which set free flammable gases upon contact with water

Classe de danger pour l'eau (WGK)

WGK 3

Point d'éclair (°F)

-22.0 °F - closed cup

Point d'éclair (°C)

-30 °C - closed cup

Équipement de protection individuelle

Faceshields, Gloves, Goggles, type ABEK (EN14387) respirator filter


Certificats d'analyse (COA)

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