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Silane

≥99.998%, electronic grade

• Sinônimo(s): Silicon tetrahydride
• Fórmula linear: SiH₄
• Número CAS: 7803-62-5
• Peso molecular: 32.12
• Número CE: 232-263-4
• Número MDL: MFCD00011228
• Código UNSPSC: 12352300
• ID de substância PubChem: 24860199

Propriedades

• grau: electronic grade
• densidade de vapor: 1.1 (vs air)
• Ensaio: ≥99.998%
• forma: gas
• resistividade: >1000 Ω-cm
• Impurezas: <1 ppm Carbon dioxide (CO₂); <1 ppm Carbon monoxide (CO); <1 ppm Chlorosilanes; <1 ppm THC; <1 ppm Trisilane (Si₃H₈); <1 ppm Water (H₂O); <100 ppm Hydrogen (H₂); <2 ppm Nitrogen (N₂); <2 ppm Siloxanes; <5 ppm Disilane (Si₂H₆)
• pb: −112 °C (lit.)
• pf: −185 °C (lit.)
• temperatura de transição: critical temperature −3.4 °C
• densidade: 1.114 g/mL at 25 °C (lit.)
• cadeia de caracteres SMILES: [SiH4]

Descrição

Aplicação

Silane is used in the deposition of amorphous silicon, epitaxial silicon and silicon based dielectrics. Polycrystalline films can be deposited on silicon wafers and glass substrates via remote plasma chemical vapor deposition (RPCVD) using a SiH₄-SiF₂-H₂ gas mixture. Silane is used widely as a dopant in the formation of III-IV semiconductor materials.

Produtos recomendados

Stainless steel regulators Z527416 or Z527424 are recommended.

Informações de segurança

• Pictogramas: GHS02,GHS04
• Palavra indicadora: Danger
• Frases de perigo: H220,H280
• Declarações de precaução: P210 - P377 - P381 - P410 + P403
• Classificações de perigo: Flam. Gas 1A - Press. Gas Compr. Gas
• Código de classe de armazenamento: 2A - Gases
• Classe de risco de água (WGK): WGK 1
• Ponto de fulgor (°F): Not applicable
• Ponto de fulgor (°C): Not applicable
• Equipamento de proteção individual: Eyeshields, Faceshields, Gloves, multi-purpose combination respirator cartridge (US)